| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 加速度传感器的研究背景 | 第9-13页 |
| 1.2 加速度传感器的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3 研究思想和研究内容 | 第18-20页 |
| 2 电容式加速度传感器的结构设计 | 第20-28页 |
| 2.1 电容式加速度传感器的结构特点 | 第20-25页 |
| 2.1.1 变介质式电容结构 | 第21-22页 |
| 2.1.2 变面积式电容结构 | 第22-24页 |
| 2.1.3 变极距式电容结构 | 第24-25页 |
| 2.2 电容式加速度传感器的结构设计 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 电容式加速度传感器二维模型的仿真 | 第28-44页 |
| 3.1 电容式加速度传感器二维初始模型仿真 | 第28-35页 |
| 3.1.1 实体建模 | 第28-29页 |
| 3.1.2 静态仿真 | 第29-34页 |
| 3.1.3 平衡状态下的静电场分布 | 第34-35页 |
| 3.2 电容式加速度传感器的结构仿真 | 第35-43页 |
| 3.2.1 调整质量块与右边框的距离 | 第35-36页 |
| 3.2.2 对质量块进行倒角处理 | 第36-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 电容式加速度传感器三维模型仿真 | 第44-57页 |
| 4.1 四臂梁结构的电容式加速度传感器三维模型仿真 | 第44-52页 |
| 4.1.1 四臂梁结构的电容式加速度传感器模型建模 | 第44-45页 |
| 4.1.2 四臂梁结构的电容式加速度传感器静态仿真 | 第45-52页 |
| 4.2 四臂梁结构的电容式加速度传感器三维模型的谐振分析 | 第52-56页 |
| 4.2.1 四臂梁结构电容式加速度传感器的模态分析 | 第52-55页 |
| 4.2.2 四臂梁结构电容式加速度传感器的谐响应分析 | 第55-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
