| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 光刻技术及其发展 | 第9-10页 |
| 1.3 相变光刻技术 | 第10-12页 |
| 1.4 金属玻璃 | 第12-14页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容及结构 | 第14-15页 |
| 2 Pr AlNiCu金属玻璃薄膜的制备及表征 | 第15-25页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 PrAlNiCu金属玻璃薄膜的制备及表征 | 第15-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-25页 |
| 3 PrAlNiCu金属玻璃薄膜的激光曝光热分布模拟 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 ANSYS建模仿真 | 第25-28页 |
| 3.3 PrAlNiCu薄膜激光曝光温度分布模拟结果 | 第28-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 4 相变光刻系统及PrAlNiCu薄膜的激光曝光特性 | 第36-46页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 相变光刻曝光系统 | 第36-39页 |
| 4.3 PrAlNiCu金属玻璃薄膜连续、脉冲激光曝光特性 | 第39-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 5 PrAlNiCu薄膜的湿法刻蚀特性及机理分析 | 第46-58页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 PrAlNiCu薄膜的湿法刻蚀研究 | 第46-53页 |
| 5.3 PrAlNiCu薄膜曝光后的刻蚀特性研究 | 第53-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 全文总结 | 第58-60页 |
| 6.1 研究内容总结 | 第58-59页 |
| 6.2 研究展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文与专利目录 | 第67页 |
