| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·PDMS软模板 | 第11-21页 |
| ·PDMS软模板的研究进展 | 第11-13页 |
| ·PDMS软模板的应用 | 第13-14页 |
| ·PDMS软模板的制作技术 | 第14-21页 |
| ·研究内容及创新点 | 第21-22页 |
| ·课题来源 | 第21页 |
| ·研究内容 | 第21-22页 |
| ·本课题的创新点 | 第22页 |
| ·论文内容安排 | 第22-23页 |
| 2 基于FIB刻蚀技术制作三维软刻蚀用母模板 | 第23-32页 |
| ·聚焦离子束技术实验原理 | 第23-26页 |
| ·基于FIB刻蚀技术在Si基底三维微结构的制备 | 第26-28页 |
| ·FIB刻蚀束流对Si基底表面三维微结构制作的影响 | 第28-30页 |
| ·小结 | 第30-32页 |
| 3 基于软刻蚀用母模板制作PDMS软模板 | 第32-43页 |
| ·低表面能物质处理基底表面 | 第32-33页 |
| ·超疏水表面润湿性能的理论基础 | 第32-33页 |
| ·在基底表面构建疏水性表面 | 第33页 |
| ·接触角测量原理 | 第33-36页 |
| ·基于母模板倒模实验过程 | 第36-42页 |
| ·实验材料 | 第36-39页 |
| ·Si基底的清洗 | 第39页 |
| ·硅烷烃修饰Si基底表面 | 第39-40页 |
| ·基于三维结构母模板制作PDMS软模板 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 4 PDMS软模板的表征及分析 | 第43-60页 |
| ·软刻蚀用母模板三维微结构表征 | 第43-49页 |
| ·Si接触角表征 | 第49-51页 |
| ·PDMS软模板结构表征 | 第51-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 5 下一步工作展望 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第68页 |