| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·国内外应变SOI的研究现状 | 第11-14页 |
| ·晶圆级双轴应变SOI技术 | 第11-13页 |
| ·晶圆级单轴应变SOI技术 | 第13-14页 |
| ·本论文的内容安排 | 第14-17页 |
| 第二章 SOI晶圆材料的力学理论与材料特性 | 第17-33页 |
| ·弹塑性力学理论基础 | 第17-28页 |
| ·弹塑性力学的基本假设和力学参量 | 第17-19页 |
| ·应力应变曲线 | 第19-20页 |
| ·各向异性材料的基本方程 | 第20-22页 |
| ·屈服准则 | 第22-26页 |
| ·卸载定理 | 第26-28页 |
| ·SOI材料的热学与力学特性 | 第28-32页 |
| ·Si材料的热学与力学特性 | 第28-32页 |
| ·SiO_2材料的热学和力学特性 | 第32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 晶圆级机械致单轴应变SOI的制作工艺原理 | 第33-41页 |
| ·工艺原理 | 第33-36页 |
| ·张应变的工艺原理 | 第33-35页 |
| ·压应变工艺原理 | 第35-36页 |
| ·工艺步骤 | 第36-39页 |
| ·实验装置 | 第36-37页 |
| ·具体工艺步骤 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 第四章 晶圆级单轴应变SOI材料的应力应变表征 | 第41-55页 |
| ·Raman光谱分析 | 第41-48页 |
| ·Raman原理 | 第41-43页 |
| ·Raman应力测试 | 第43-46页 |
| ·Raman测试结果分析 | 第46-48页 |
| ·光纤光栅应力测试 | 第48-53页 |
| ·光纤光栅应力测试原理 | 第48页 |
| ·光纤光栅应力测试 | 第48-52页 |
| ·光纤光栅应力测试结果分析 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第五章 晶圆级机械致单轴应变SOI应力分布的有限元分析 | 第55-75页 |
| ·有限元模型的建立 | 第55-58页 |
| ·几何模型的建立 | 第55-56页 |
| ·模型单元的选择和材料参数的设置 | 第56页 |
| ·网格划分和载荷条件 | 第56-58页 |
| ·应力应变模拟结果分析 | 第58-72页 |
| ·单轴张应变SOI各层应力应变分布 | 第58-68页 |
| ·单轴压应变SOI各层应力应变分布 | 第68-72页 |
| ·ANSYS模拟结果和光纤光栅应变测试结果的比较 | 第72页 |
| ·小结 | 第72-75页 |
| 第六章 结论 | 第75-77页 |
| ·研究的结论 | 第75-76页 |
| ·进一步的工作 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士研究生期间的研究成果 | 第85-86页 |