| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·铁电体与铁电存储器 | 第9-10页 |
| ·铁电场效应晶体管的研究及发展 | 第10-13页 |
| ·铁电反相器的研究及发展 | 第13-15页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第15-17页 |
| ·选题依据 | 第15-16页 |
| ·研究思路和主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 铁电场效应晶体管的 TCAD 模拟 | 第17-35页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·Sentaurus TCAD 软件介绍 | 第17-20页 |
| ·半导体器件模拟的基本方程 | 第18-20页 |
| ·铁电极化的描述 | 第20页 |
| ·MFIS 结构铁电场效应晶体管 | 第20-22页 |
| ·栅极电压与漏极电压对铁电场效应晶体管的影响 | 第22-25页 |
| ·栅极电压对铁电场效应晶体管的影响 | 第22-23页 |
| ·漏极电压对铁电场效应晶体管的影响 | 第23-25页 |
| ·绝缘层厚度和相对介电常数对铁电场效应晶体管的影响 | 第25-28页 |
| ·绝缘层厚度对铁电场效应晶体管的影响 | 第25-26页 |
| ·绝缘层相对介电常数对铁电场效应晶体管的影响 | 第26-28页 |
| ·铁电层各参数对铁电场效应晶体管的影响 | 第28-34页 |
| ·铁电层厚度对铁电场效应晶体管的影响 | 第28-30页 |
| ·铁电层相对介电常数对铁电场效应晶体管的影响 | 第30-31页 |
| ·铁电层剩余极化强度对铁电场效应晶体管的影响 | 第31-33页 |
| ·铁电层饱和极化强度对铁电场效应晶体管的影响 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第3章 铁电反相器的 TCAD 模拟 | 第35-45页 |
| ·输入电压和电源电压对铁电反相器的影响 | 第35-38页 |
| ·输入电压对铁电场效应反相器的影响 | 第36-37页 |
| ·电源电压对铁电场效应反相器的影响 | 第37-38页 |
| ·绝缘层厚度和相对介电常数对铁电反相器的影响 | 第38-40页 |
| ·绝缘层厚度对铁电反相器的影响 | 第38-39页 |
| ·绝缘层相对介电常数对铁电反相器的影响 | 第39-40页 |
| ·铁电层各参数对铁电反相器的影响 | 第40-44页 |
| ·铁电层厚度对铁电反相器的影响 | 第40-41页 |
| ·铁电层相对介电常数对铁电反相器的影响 | 第41-42页 |
| ·铁电层剩余极化强度对铁电反相器的影响 | 第42-43页 |
| ·铁电层饱和极化强度对铁电反相器的影响 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第4章 铁电场效应晶体管的界面电荷模型 | 第45-58页 |
| ·铁电场效应晶体管的界面电荷模型 | 第45-49页 |
| ·铁电场效应晶体管栅结构 | 第45-48页 |
| ·铁电场效应晶体铁电薄膜去极化场 | 第48页 |
| ·铁电场效应晶体管铁电层中的极化 | 第48页 |
| ·铁电场效应晶体管的漏极电流 | 第48-49页 |
| ·铁电场效应晶体管的界面电荷模拟 | 第49-56页 |
| ·n 型铁电场效应晶体管的界面电荷模拟 | 第50-53页 |
| ·p 型铁电场效应晶体管的界面电荷模拟 | 第53-56页 |
| ·铁电反相器的界面电荷模拟 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第5章 结论与展望 | 第58-60页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读学位期间发表论文目录 | 第65页 |