交替移相掩模技术的版图优化方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-18页 |
| ·研究意义与目的 | 第6-14页 |
| ·深亚光波长光刻以及其存在问题 | 第7-11页 |
| ·交替移相掩模技术 | 第11-13页 |
| ·交替移相掩模技术的版图优化 | 第13-14页 |
| ·国内外的研究现状与本文主要工作 | 第14-17页 |
| ·国内外的研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文工作 | 第16-17页 |
| ·论文结构 | 第17-18页 |
| 第2章 交替移相掩模技术版图优化方法回顾 | 第18-30页 |
| ·相位冲突检测 | 第18-23页 |
| ·暗场冲突图 | 第19-20页 |
| ·明场冲突图 | 第20-22页 |
| ·冲突图的权重 | 第22-23页 |
| ·相位分配 | 第23-29页 |
| ·双连通分支 | 第24-25页 |
| ·最大二分子图问题 | 第25-29页 |
| ·最优化T-join问题 | 第26-27页 |
| ·最小权重完美匹配问题 | 第27-28页 |
| ·综述 | 第28-29页 |
| ·最终相位分配 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 快速动态优先搜索树 | 第30-45页 |
| ·动态优先搜索树 | 第30-31页 |
| ·数据结构 | 第31-32页 |
| ·相关算法 | 第32-40页 |
| ·插入操作 | 第33-34页 |
| ·删除操作 | 第34-35页 |
| ·查询操作 | 第35-38页 |
| ·迭代器的初始化 | 第36-37页 |
| ·迭代器自增 | 第37-38页 |
| ·平衡操作 | 第38-40页 |
| ·在相位冲突检测中的应用 | 第40-41页 |
| ·实验结果与分析 | 第41-44页 |
| ·插入操作 | 第42-43页 |
| ·删除操作 | 第43-44页 |
| ·查询操作 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于三连通分支分解的相位分配算法 | 第45-68页 |
| ·三连通分支及其数据结构 | 第45-52页 |
| ·三连通分支 | 第45-48页 |
| ·SPQR-Tree数据结构 | 第48-52页 |
| ·算法概述 | 第52-54页 |
| ·求解分支解集 | 第54-62页 |
| ·非根结点 | 第54-61页 |
| ·S型节点 | 第56-58页 |
| ·P型节点 | 第58-59页 |
| ·R型节点 | 第59-61页 |
| ·根结点 | 第61-62页 |
| ·合并解集 | 第62-65页 |
| ·实验结果及分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 FDPSM软件 | 第68-73页 |
| 第6章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·工作总结 | 第73-74页 |
| ·未来工作展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第80-81页 |
