MEMS微变形镜测试及工艺防粘附技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章:绪论 | 第8-15页 |
| ·MEMS微变形镜及其国内外发展现状 | 第8-10页 |
| ·MEMS器件的优势 | 第10-11页 |
| ·表面加工MEMS微变形镜中的粘附问题 | 第11-13页 |
| ·MEMS微变形镜的测试 | 第13-14页 |
| ·本文研究目的与主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章:粘附产生根源及其对微变形镜性能的影响 | 第15-30页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·释放粘附现象的产生根源 | 第15-24页 |
| ·表面张力 | 第16-19页 |
| ·范德华力 | 第19-20页 |
| ·静电力 | 第20-21页 |
| ·三种力的比较 | 第21-22页 |
| ·氢键(hydrogen bonding) | 第22页 |
| ·固体桥接 | 第22-23页 |
| ·残余应力对粘附的影响 | 第23-24页 |
| ·工作粘附的产生根源 | 第24-28页 |
| ·静电吸引力 | 第25-26页 |
| ·加速度力 | 第26-28页 |
| ·粘附现象对微变形镜的影响 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章:微机械释放粘附控制技术研究 | 第30-36页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·现有的防粘附方法 | 第30-31页 |
| ·表面形貌的改变 | 第30页 |
| ·表面处理和表面涂层 | 第30-31页 |
| ·自组装分子膜 | 第31页 |
| ·特殊的牺牲层释放干燥方法 | 第31页 |
| ·常用的牺牲层释放技术 | 第31-34页 |
| ·工艺干燥方法研究 | 第31-33页 |
| ·氟化氢气相刻蚀 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章:微机械工作粘附控制技术研究 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·物理方法 | 第36-39页 |
| ·RIE表面粗糙技术 | 第36-38页 |
| ·物理改性 | 第38-39页 |
| ·巧妙结构设计 | 第39页 |
| ·化学改性 | 第39-42页 |
| ·自组装单分子膜的优点: | 第40-41页 |
| ·低能单层涂层 | 第41页 |
| ·氟化物涂层 | 第41-42页 |
| ·典型自组装薄膜沉积技术 | 第42-46页 |
| ·自组装OTS分子膜的成膜过程 | 第42-43页 |
| ·自组装FDTS分子膜的成膜过程 | 第43-45页 |
| ·基于烯烃的单分子膜 | 第45页 |
| ·自组装分子膜的效果测试 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章:MEMS微结构粘附测试技术研究 | 第47-65页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·分离长度测试法原理 | 第47-54页 |
| ·悬臂梁结构 | 第47-51页 |
| ·简支梁结构: | 第51-54页 |
| ·水滴接触角测试原理 | 第54-55页 |
| ·MEMS微变形镜粘附研究 | 第55-57页 |
| ·MEMS微变形镜及测试结构工艺实验 | 第57-64页 |
| ·粘附测试结构的版图设计 | 第57-60页 |
| ·测试结构加工过程 | 第60-61页 |
| ·牺牲层释放方案研究 | 第61-62页 |
| ·实验结果与讨论 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章:分立式微变形镜测试技术 | 第65-70页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·MEMS测试方法 | 第65-67页 |
| ·MEMS运动参数的注入干涉测量法 | 第66-67页 |
| ·Fabry-Perot结构用于振动测量 | 第67页 |
| ·MEMS微变形镜测试 | 第67-69页 |
| ·MEMS微变形镜三维形貌与变形测量 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 总结与展望 | 第70-73页 |
| 总结 | 第70-71页 |
| 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 硕士期间发表的学术论文和申请的专利 | 第80-81页 |
| 论文发表 | 第80页 |
| 专利申请 | 第80-81页 |
| 参与课题情况 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
