| 第一章 绪论 | 第1-12页 |
| §1-1 引言 | 第9页 |
| §1-2 薄膜测厚传感器及动态测厚技术的发展现状 | 第9-11页 |
| §1-3 本课题的研究目的和主要研究内容 | 第11页 |
| §1-4 本课题的技术难点及创新 | 第11-12页 |
| 第二章 单片式电容传感器的设计 | 第12-18页 |
| §2-1 传统电容传感器的应用及其局限性 | 第12-13页 |
| §2-2 新型电容传感器的工作原理及结构设计 | 第13-14页 |
| 2-2-1 单片式电容传感器的工作原理 | 第13-14页 |
| 2-2-2 单片式电容传感器的结构设计 | 第14页 |
| §2-3 单片式电容传感器电容值的定量计算 | 第14-16页 |
| §2-4 传感器主要尺寸参数对传感器特性的影响 | 第16-17页 |
| §2-5 本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 基于单片式电容传感器的薄膜动态测厚系统总体设计 | 第18-20页 |
| §3-1 动态测厚系统的整机设计思想 | 第18页 |
| §3-2 动态测厚系统的整体设计 | 第18页 |
| §3-3 本章小结 | 第18-20页 |
| 第四章 检测电路的研究与设计 | 第20-36页 |
| §4-1 检测电路的方案选择 | 第20-23页 |
| §4-2 检测电路的设计 | 第23-28页 |
| 4-2-1 驱动电缆问题的研究 | 第23-27页 |
| 4-2-2 主检测电路的设计 | 第27-28页 |
| §4-3 单元电路的设计 | 第28-34页 |
| 4-3-1 稳频稳幅正弦波信号源的设计 | 第29-30页 |
| 4-3-2 其它单元电路的设计 | 第30-34页 |
| §4-4 电路中的抗干扰设计及稳定性分析 | 第34-35页 |
| §4-5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第五章 动态测厚系统智能化的实现 | 第36-53页 |
| §5-1 单片机系统的基本外围电路 | 第36-37页 |
| §5-2 单片机系统的软件设计 | 第37-38页 |
| §5-3 A/D转换及与PC机的通讯 | 第38-47页 |
| 5-3-1 A/D转换软件设计的注意事项 | 第38-42页 |
| 5-3-2 单片机与PC机的通讯 | 第42-47页 |
| §5-4 测厚系统的软件非线性校正及温度补偿 | 第47-51页 |
| 5-4-1 测厚系统的软件非线性校正 | 第47-49页 |
| 5-4-2 测厚系统的温度补偿设计 | 第49-51页 |
| §5-5 动态测厚系统智能化的体现 | 第51-52页 |
| §5-6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 虚拟仪器平台的应用 | 第53-57页 |
| §6-1 虚拟仪器简介 | 第53-55页 |
| §6-2 虚拟仪器平台应用 | 第55-56页 |
| §6-3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第七章 整机的精度分析及技术指标 | 第57-62页 |
| §7-1 样机稳定性与精度实验 | 第57-61页 |
| §7-2 整机技术指标 | 第61页 |
| §7-3 本章小结 | 第61-62页 |
| 结束语 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 附录 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读硕士期间发表的科技论文 | 第67页 |