| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.2 太阳能用硅材料发展 | 第13页 |
| 1.3 太阳能用硅单晶及其制备技术 | 第13-15页 |
| 1.3.1 太阳能用硅单晶 | 第13-14页 |
| 1.3.2 硅单晶制备技术 | 第14-15页 |
| 1.4 直拉法（CZ）长晶炉结构与硅单晶生长工艺过程 | 第15-17页 |
| 1.4.1 直拉法单晶炉结构 | 第15-16页 |
| 1.4.2 直拉法硅单晶生长工艺过程 | 第16-17页 |
| 1.5 课题研究的意义和内容 | 第17-20页 |
| 1.5.1 国内外研究现状及发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第18页 |
| 1.5.3 本课题研究的主要内容及方法 | 第18-20页 |
| 第二章 S-150型长晶炉的热场模拟分析设计 | 第20-41页 |
| 2.1 硅单晶生长热场及传热方式简介 | 第20-24页 |
| 2.1.1 硅单晶热场系统介绍 | 第20-21页 |
| 2.1.2 硅单晶热场系统的传热方式 | 第21-22页 |
| 2.1.3 晶体生长界面处的热输运方程 | 第22-24页 |
| 2.2 FEMAG-CZ模拟仿真软件及有限元分析简介 | 第24-26页 |
| 2.2.1 FEMAG-CZ模拟仿真软件简介 | 第24-25页 |
| 2.2.2 有限元数学模型分析方式 | 第25-26页 |
| 2.3 FEMAG-CZ模拟仿真软件在硅单晶生长中的运用 | 第26页 |
| 2.4 S-150型长晶炉稳态热场数值模拟 | 第26-30页 |
| 2.4.1 创建S-150型长晶炉的几何模型 | 第27-28页 |
| 2.4.2 物性参数和基本条件设置 | 第28-30页 |
| 2.5 三维热场模拟图形建立与计算结果分析 | 第30-40页 |
| 2.5.1 模拟不同晶体生长过程中能耗消耗分析 | 第30-34页 |
| 2.5.2 模拟热场使用不同保温材料进行长晶试验模拟 | 第34-36页 |
| 2.5.3 对不同形状的导流筒长晶热场温度分布分析 | 第36-38页 |
| 2.5.4 对不同形状的导流筒长晶界面形状分析 | 第38-40页 |
| 2.6 小结 | 第40-41页 |
| 第三章 S-150型长晶炉的自动收尾程序设计 | 第41-72页 |
| 3.1 硅单晶生长收尾简介 | 第41-42页 |
| 3.2 可编程逻辑控制器（PLC）与人机界面PROFACE简介 | 第42-43页 |
| 3.2.1 可编程逻辑控制器（PLC）简介 | 第42-43页 |
| 3.2.2 人机界面Proface简介 | 第43页 |
| 3.3 S-150型长晶炉收尾程序控制系统功能模块 | 第43-48页 |
| 3.3.1 PLC主控模块 | 第43-45页 |
| 3.3.2 输入输出驱动模块温度控制 | 第45页 |
| 3.3.3 温度报警模块 | 第45-46页 |
| 3.3.4 温度控传感制模块 | 第46-47页 |
| 3.3.5 智能模拟量输出模块 | 第47页 |
| 3.3.6 智能模拟量输入模块 | 第47-48页 |
| 3.4 S-150型长晶炉收尾程序自动控制的实现 | 第48-63页 |
| 3.4.1 通讯模块 | 第49-50页 |
| 3.4.2 时间控制模块 | 第50-51页 |
| 3.4.3 系统操作控制参数SOP程序的编写 | 第51-53页 |
| 3.4.4 系统操作控制模块 | 第53-54页 |
| 3.4.5 系统的双入、双出解耦控制设计 | 第54-58页 |
| 3.4.6 解耦控制设计 | 第58-63页 |
| 3.5 S-150型长晶炉收尾进程自动控制人机界面 | 第63-71页 |
| 3.5.1 收尾进程人机控制界面 | 第63-65页 |
| 3.5.2 收尾进程参数设置界面 | 第65-66页 |
| 3.5.3 收尾进程控制流程 | 第66-69页 |
| 3.5.4 收尾进程PLC液面计算控制程序SP代码 | 第69-71页 |
| 3.6 小结 | 第71-72页 |
| 第四章 硅单晶生长过程中埚随比计算软件 | 第72-85页 |
| 4.1 问题提出及意义 | 第72页 |
| 4.2 埚随比精确计算分析 | 第72-75页 |
| 4.3 埚随比计算软件设计实现 | 第75-84页 |
| 4.3.1 软件设计计算思路分析 | 第75-78页 |
| 4.3.2 埚随比计算软件的实现 | 第78-84页 |
| 4.4 小结 | 第84-85页 |
| 第五章 结论 | 第85-87页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第85页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-91页 |
