| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-29页 |
| 1.1 纳米科技概述 | 第10-11页 |
| 1.2 砷化镓应用领域及其发展前景 | 第11-13页 |
| 1.2.1 砷化镓概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 砷化镓材料的应用及发展 | 第12-13页 |
| 1.3 砷化镓表面常见微纳加工技术现状及挑战 | 第13-24页 |
| 1.3.1 光刻技术 | 第14-17页 |
| 1.3.2 纳米压印技术 | 第17-18页 |
| 1.3.3 聚焦离子/电子束刻蚀 | 第18-20页 |
| 1.3.4 机械刻蚀 | 第20-21页 |
| 1.3.5 基于扫描探针的阳极氧化 | 第21-24页 |
| 1.4 砷化镓表面摩擦诱导微纳加工可行性研究 | 第24-25页 |
| 1.5 课题研究意义及研究内容 | 第25-29页 |
| 1.5.1 课题研究意义 | 第25-26页 |
| 1.5.2 课题研究内容 | 第26-29页 |
| 第二章 实验设备和方法 | 第29-38页 |
| 2.1 实验材料 | 第29-30页 |
| 2.2 纳米结构加工及形貌表征设备 | 第30-34页 |
| 2.2.1 纳米划痕仪 | 第30-31页 |
| 2.2.2 多点接触微米级加工设备 | 第31-32页 |
| 2.2.3 原子力显微镜 | 第32-34页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜 | 第34页 |
| 2.3 摩擦诱导选择性刻蚀加工 | 第34-35页 |
| 2.4 表征设备及方法 | 第35-38页 |
| 2.4.1 化学成分表征 | 第35-36页 |
| 2.4.2 微观结构表征 | 第36-38页 |
| 第三章 砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀加工规律 | 第38-49页 |
| 3.1 砷化镓表面摩擦诱导划痕的产生规律 | 第38-40页 |
| 3.2 不同刻蚀溶液对砷化镓表面刻蚀加工的影响 | 第40-44页 |
| 3.3 法向载荷对砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀加工的影响 | 第44-46页 |
| 3.4 刻蚀时间对砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀加工的影响 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀加工机理初探 | 第49-55页 |
| 4.1 砷化镓表面纳米结构的XPS分析 | 第49-52页 |
| 4.2 砷化镓表面纳米结构的拉曼分析 | 第52-53页 |
| 4.3 砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀加工机理 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀加工 | 第55-63页 |
| 5.1 砷化镓表面纳米线结构图案加工 | 第55-57页 |
| 5.1.1 线阵列结构 | 第55-56页 |
| 5.1.2 “井”字型阵列结构 | 第56-57页 |
| 5.2 砷化镓表面纳米面及复杂结构图案加工 | 第57-60页 |
| 5.2.1 面状凸起结构 | 第57-58页 |
| 5.2.2 字母结构 | 第58-60页 |
| 5.3 摩擦诱导纳米加工特点与展望 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第72页 |