| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第11-14页 |
| 第2章 干法金属铝刻蚀缺陷分析方法 | 第14-20页 |
| 2.1 失效机制分析法 | 第14-16页 |
| 2.2 因果分析法 | 第16-18页 |
| 2.3 团队导向问题解决法 | 第18-20页 |
| 第3章 产品缺陷的相关性分析与改善 | 第20-72页 |
| 3.1 金属铝刻蚀的工艺简介 | 第20-23页 |
| 3.2 金属铝刻蚀的步骤 | 第23-28页 |
| 3.2.1 金属薄膜叠层结构 | 第23-24页 |
| 3.2.2 金属铝刻蚀步骤 | 第24-28页 |
| 3.3 金属铝刻蚀缺陷简介 | 第28-31页 |
| 3.4 Metal Defect产生原因分析及改善 | 第31-60页 |
| 3.4.1 团队导向问题解决法分析Dome Defect | 第31-35页 |
| 3.4.2 因果分析法分析Dome Defect | 第35-50页 |
| 3.4.3 失效机制法分析Dome Defect | 第50-60页 |
| 3.5 Turbo Defect产生的原因分析及改善 | 第60-72页 |
| 3.5.1 团队导向问题解决法分析Turbo Defect | 第60-64页 |
| 3.5.2 因果分析法分析Turbo Defect | 第64-66页 |
| 3.5.3 失效机制法分析Turbo Defect | 第66-72页 |
| 第4章 案例分析 | 第72-86页 |
| 4.1 Dome Defect实例 | 第74-80页 |
| 4.2 Turbo Defect实例 | 第80-86页 |
| 第5章 总结 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
