精密光栅线位移传感器结构优化研究
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5页 |
1. 绪论 | 第8-20页 |
1.1 课题的研究目的及意义 | 第8-10页 |
1.1.1 课题背景 | 第8-10页 |
1.1.2 课题研究意义 | 第10页 |
1.2 光栅线位移传感器概述 | 第10-14页 |
1.2.1 光栅测量技术的发展简史 | 第10-11页 |
1.2.2 光栅线位移传感器的工作原理 | 第11-13页 |
1.2.3 光栅线位移传感器的分类 | 第13-14页 |
1.3 国内外研究现状 | 第14-19页 |
1.3.1 国外研究现状 | 第14-17页 |
1.3.2 国内研究现状 | 第17-19页 |
1.4 本课题的主要研究内容 | 第19-20页 |
1.4.1 课题来源 | 第19页 |
1.4.2 主要研究内容 | 第19-20页 |
2 光栅线位移传感器精度的影响因素分析 | 第20-28页 |
2.1 光栅线位移传感器的温度特性 | 第22-26页 |
2.2 光栅线位移传感器的机械误差 | 第26-27页 |
2.3 振动导致的误差 | 第27页 |
2.4 本章小结 | 第27-28页 |
3.光栅线位移传感器结构优化设计 | 第28-45页 |
3.1 光栅尺的设计 | 第28-34页 |
3.1.1 光栅尺的选材 | 第28-30页 |
3.1.2 光栅尺的结构设计 | 第30-34页 |
3.2 读数头的选择 | 第34-35页 |
3.3 精密光栅线位移传感器机械结构设计 | 第35-44页 |
3.3.1 传动结构设计 | 第36-39页 |
3.3.2 精密光栅线位移传感器弹性连接件设计 | 第39-41页 |
3.3.3 精密光栅线位移传感器外观设计分析 | 第41-44页 |
3.4 本章小结 | 第44-45页 |
4 光栅线位移传感器的精度实验及应用研究 | 第45-57页 |
4.1 精密光栅线位移传感器的装配过程研究 | 第45-50页 |
4.1.1 精密光栅线位移传感器的装配 | 第45-46页 |
4.1.2 精密光栅线位移传感器的装配实验 | 第46-50页 |
4.2 精密光栅线位移传感器外观检定 | 第50-51页 |
4.2.1 外观 | 第50页 |
4.2.2 机械性能 | 第50-51页 |
4.2.3 功能 | 第51页 |
4.3 精密光栅线位移传感器的定位精度检定 | 第51-55页 |
4.3.1 精密光栅线位移传感器的定位精度检定 | 第51-55页 |
4.3.2 光栅线位移传感器速度试验 | 第55页 |
4.4 精密光栅线位移传感器的应用 | 第55-56页 |
4.5 本章小结 | 第56-57页 |
5 结论与展望 | 第57-58页 |
5.1 结论 | 第57页 |
5.2 展望 | 第57-58页 |
参考文献 | 第58-62页 |
附录:硕士研究生学习阶段发表论文和取得的成果 | 第62-63页 |
致谢 | 第63-64页 |