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精密光栅线位移传感器结构优化研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
1. 绪论第8-20页
    1.1 课题的研究目的及意义第8-10页
        1.1.1 课题背景第8-10页
        1.1.2 课题研究意义第10页
    1.2 光栅线位移传感器概述第10-14页
        1.2.1 光栅测量技术的发展简史第10-11页
        1.2.2 光栅线位移传感器的工作原理第11-13页
        1.2.3 光栅线位移传感器的分类第13-14页
    1.3 国内外研究现状第14-19页
        1.3.1 国外研究现状第14-17页
        1.3.2 国内研究现状第17-19页
    1.4 本课题的主要研究内容第19-20页
        1.4.1 课题来源第19页
        1.4.2 主要研究内容第19-20页
2 光栅线位移传感器精度的影响因素分析第20-28页
    2.1 光栅线位移传感器的温度特性第22-26页
    2.2 光栅线位移传感器的机械误差第26-27页
    2.3 振动导致的误差第27页
    2.4 本章小结第27-28页
3.光栅线位移传感器结构优化设计第28-45页
    3.1 光栅尺的设计第28-34页
        3.1.1 光栅尺的选材第28-30页
        3.1.2 光栅尺的结构设计第30-34页
    3.2 读数头的选择第34-35页
    3.3 精密光栅线位移传感器机械结构设计第35-44页
        3.3.1 传动结构设计第36-39页
        3.3.2 精密光栅线位移传感器弹性连接件设计第39-41页
        3.3.3 精密光栅线位移传感器外观设计分析第41-44页
    3.4 本章小结第44-45页
4 光栅线位移传感器的精度实验及应用研究第45-57页
    4.1 精密光栅线位移传感器的装配过程研究第45-50页
        4.1.1 精密光栅线位移传感器的装配第45-46页
        4.1.2 精密光栅线位移传感器的装配实验第46-50页
    4.2 精密光栅线位移传感器外观检定第50-51页
        4.2.1 外观第50页
        4.2.2 机械性能第50-51页
        4.2.3 功能第51页
    4.3 精密光栅线位移传感器的定位精度检定第51-55页
        4.3.1 精密光栅线位移传感器的定位精度检定第51-55页
        4.3.2 光栅线位移传感器速度试验第55页
    4.4 精密光栅线位移传感器的应用第55-56页
    4.5 本章小结第56-57页
5 结论与展望第57-58页
    5.1 结论第57页
    5.2 展望第57-58页
参考文献第58-62页
附录:硕士研究生学习阶段发表论文和取得的成果第62-63页
致谢第63-64页

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