直接驱动X-Y平台自适应零相位误差跟踪控制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题来源、研究背景及意义 | 第10页 |
| ·课题来源及研究背景 | 第10页 |
| ·课题研究的意义 | 第10页 |
| ·直接驱动 X-Y 平台的应用与发展 | 第10-12页 |
| ·直接驱动 X-Y 平台的国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·X-Y 平台的控制方法 | 第13-15页 |
| ·直接驱动控制方法 | 第13-14页 |
| ·轮廓误差控制方法 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 X-Y 平台的数学模型及轮廓误差分析 | 第17-27页 |
| ·X-Y 平台的结构及工作原理 | 第17-21页 |
| ·永磁直线同步电机（PMLSM）的工作原理 | 第17-19页 |
| ·X-Y 平台的数学模型 | 第19-21页 |
| ·X-Y 平台的轮廓误差分析 | 第21-26页 |
| ·轮廓误差分析与计算 | 第21-24页 |
| ·影响轮廓加工精度的因素 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 直接驱动 X-Y 平台单轴控制器设计 | 第27-36页 |
| ·自适应 ZPETC 的设计 | 第27-31页 |
| ·ZPETC 的基本原理 | 第27-29页 |
| ·自适应 ZPETC 的设计 | 第29-31页 |
| ·DOB 的设计 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 轮廓误差实时补偿控制设计 | 第36-42页 |
| ·轮廓误差预补偿控制原理 | 第36-37页 |
| ·轮廓误差的计算 | 第37-38页 |
| ·轮廓误差的分配 | 第38页 |
| ·跟随误差的指数加权平滑预测模型 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 X-Y 平台系统仿真分析 | 第42-54页 |
| ·单轴 PMLSM 跟踪性能仿真分析 | 第42-50页 |
| ·PMLSM 的 PID 仿真分析 | 第42-45页 |
| ·单轴自适应零相位误差鲁棒控制系统的仿真分析 | 第45-50页 |
| ·直接驱动 X-Y 平台轮廓误差曲线的仿真分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 在学研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
