| 第一章 绪论 | 第1-25页 |
| ·聚焦离子束技术概述 | 第7-12页 |
| ·聚焦离子束技术发展历史 | 第7-10页 |
| ·聚焦离子束系统的分类 | 第10-12页 |
| ·聚焦离子源 | 第12-18页 |
| ·聚焦离子源的种类 | 第12-14页 |
| ·液态金属离子源 | 第14-18页 |
| ·开展液态金属离子源研究的意义 | 第18-19页 |
| ·本论文工作的内容及成果 | 第19-20页 |
| ·本论文的内容 | 第19-20页 |
| ·镓液态金属离子源的设计 | 第19页 |
| ·设计指标 | 第19页 |
| ·设计内容 | 第19页 |
| ·镓液态金属离子源性能研究 | 第19页 |
| ·液态金属离子源发射特性仿真研究 | 第19-20页 |
| ·创新性成果 | 第20页 |
| ·论文内容的安排 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21页 |
| 参考文献 | 第21-25页 |
| 第二章 液态金属离子源的发射机理 | 第25-41页 |
| ·离子源在发射区域的形状 | 第25-29页 |
| ·静态Taylor 锥模型 | 第25-28页 |
| ·动态喷流柱模型(Dynamic Jet-like Protrusion Model) | 第28-29页 |
| ·离子发射机理 | 第29-34页 |
| ·场蒸发电离离子 | 第30-32页 |
| ·场电离离子 | 第32-33页 |
| ·集团离子及其他过程 | 第33-34页 |
| ·液态金属离子源电动流体力学方程及对试验现象的解释 | 第34-37页 |
| ·液态金属离子源所满足的电动流体力学方程 | 第34-35页 |
| ·液态金属离子源工作过程的分析及实验现象的定性解释 | 第35-37页 |
| ·静态方程及起始电压的求解 | 第35-36页 |
| ·实验现象的定性解释 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-41页 |
| 第三章DL-01 型液态金属离子源的研制 | 第41-59页 |
| ·液态金属离子源的结构设计 | 第42-45页 |
| ·液态金属离子源组件制作 | 第45-54页 |
| ·液态金属离子源发射尖的制备 | 第45-50页 |
| ·发射尖的基本工艺要求 | 第45-46页 |
| ·发射尖电化学腐蚀机理 | 第46-47页 |
| ·发射尖腐蚀过程的实现 | 第47-50页 |
| ·液态金属离子源挂镓工艺 | 第50-52页 |
| ·液态金属离子源测试系统 | 第52-54页 |
| ·液态金属离子源加热电源及加速高压电源设计 | 第54-57页 |
| ·加热电源设计 | 第54-56页 |
| ·加速高压电源设计 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第四章 液态金属离子源的性能研究 | 第59-71页 |
| ·液态金属离子源的主要性能指标 | 第59-63页 |
| ·虚拟源(Virtual Source)直径 | 第59页 |
| ·液态金属离子源的伏安特性 | 第59-60页 |
| ·角电流密度和亮度 | 第60-61页 |
| ·发射电流的稳定度 | 第61-62页 |
| ·发射离子的能散 | 第62-63页 |
| ·寿命 | 第63页 |
| ·液态金属离子源性能研究 | 第63-68页 |
| ·液态金属离子源测试系统 | 第63-65页 |
| ·工作温度 | 第65-66页 |
| ·性能测试 | 第66-68页 |
| ·I-V 发射特性 | 第66页 |
| ·角电流密度及亮度测试 | 第66-67页 |
| ·源寿命及稳定性测试 | 第67-68页 |
| ·影响源发射性能的因素分析 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 第五章 液态金属离子源发射系统的仿真 | 第71-104页 |
| ·模拟电荷法计算电场的基本理论 | 第71-76页 |
| ·模拟电荷法的基本原理 | 第71-73页 |
| ·模拟电荷类型及其电位、场强系数的计算式 | 第73-76页 |
| ·点电荷电场的计算 | 第73-74页 |
| ·线电荷电场的计算 | 第74-75页 |
| ·环形电荷电场的计算 | 第75-76页 |
| ·液态金属离子源发射系统的电场计算及分析 | 第76-83页 |
| ·液态金属离子源发射尖端模型 | 第76-78页 |
| ·计算步骤 | 第78-79页 |
| ·计算软件流程图 | 第79-81页 |
| ·计算结果及分析 | 第81-83页 |
| ·用Monte Carlo 法模拟计算液态金属离子源的发射特性 | 第83-101页 |
| ·Monte Carlo 方法的基本理论 | 第83-90页 |
| ·Monte Carlo 方法的基本特点 | 第83-84页 |
| ·随机子样、子样均值和子样均方差 | 第84-85页 |
| ·Monte Carlo 方法中常用的分布 | 第85-88页 |
| ·Monte Carlo 方法中随机数的产生方法 | 第88页 |
| ·Monte Carlo 方法中随机变量的抽样 | 第88-90页 |
| ·离子发射初始条件的确定 | 第90-95页 |
| ·发射束流的计算 | 第90-92页 |
| ·离子发射初始位置的确定 | 第92-93页 |
| ·离子发射的初始速度 | 第93-95页 |
| ·离子轨迹的计算 | 第95-97页 |
| ·液态金属离子源的发射特性仿真计算和分析 | 第97-101页 |
| ·角电流密度的计算 | 第97-98页 |
| ·能散的计算 | 第98-99页 |
| ·虚源直径的计算 | 第99页 |
| ·发射特性和电极结构的关系 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101页 |
| 参考文献 | 第101-104页 |
| 第六章 全文总结及课题展望 | 第104-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 博士期间发表著作及文章情况 | 第107-108页 |
| 附录 | 第108-112页 |
| 论文答辩说明 | 第112页 |
| 关于论文使用权的说明 | 第112页 |
