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硅衬底ZnO半导体材料生长及GaN/Si白光LED老化研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-38页
   ·引言第10-11页
   ·ZnO材料的基本特性第11-20页
   ·ZnO薄膜的生长方法第20-27页
   ·ZnO材料的应用领域第27-32页
   ·本论文主要内容第32-33页
 参考文献第33-38页
第二章 生长ZnO薄膜的MOCVD反应系统第38-45页
   ·MOCVD技术简介第38-39页
   ·ZnO薄膜MOCVD生长源材料的选择第39页
   ·本实验室用于ZnO生长的自制常压MOCVD生长系统第39-44页
 参考文献第44-45页
第三章 Ni/Si(111)模板上ZnO薄膜的生长与分析第45-71页
   ·引言第45-52页
     ·Si衬底ZnO薄膜的研究进展第46-52页
   ·ZnO/Ni/Si(111)薄膜的生长系统与工艺第52-57页
   ·采用Ni金属层和未采用Ni金属层生长ZnO/Ni/Si(111)的对比第57-60页
   ·采用不同锌源在Ni/Si(111)模板上生长ZnO薄膜的对比第60-68页
   ·小结第68-69页
 参考文献第69-71页
第四章 Ni/Si(111)模板上生长ZnO薄膜部分优化条件的研究第71-83页
   ·缓冲层厚度对Ni/Si(111)模板生长ZnO的影响第71-75页
   ·缓冲层温度对Ni/Si(111)模板生长ZnO的影响第75-81页
   ·小结第81-82页
 参考文献第82-83页
第五章 硅衬底GaN基白光LED老化特性研究第83-99页
   ·引言第83-84页
   ·GaN基LED的相关知识第84-87页
     ·LED的I-V特性第85页
     ·LED的光学特性第85-87页
     ·LED的热学特性第87页
   ·GaN基LED的老化失效分析第87-95页
   ·小结第95-97页
 参考文献第97-99页
第六章 结论第99-101页
硕士生期间发表的论文目录第101-102页
致谢第102页

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