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Ga2O3:Mn电致发光薄膜的制备及其特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·引言第7-8页
   ·电致发光显示器件的历史与现状第8-12页
   ·本课题研究内容与目标第12-13页
第二章 无机交流薄膜电致发光原理第13-22页
   ·引言第13页
   ·薄膜电致发光器件的结构第13-14页
   ·电致发光的理论基础第14-15页
   ·薄膜电致发光器件的发光机理第15-22页
第三章 Ga_2O_3:Mn 电致发光薄膜的制备与表征第22-30页
   ·引言第22页
   ·Ga_2O_3:Mn薄膜的制备装置第22-23页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜的沉积第23-25页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜的热处理第25-26页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜的表征第26-30页
第四章 Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件及其发光特性研究第30-33页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件的结构第30页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件的制备第30-31页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件的发光特性第31-32页
   ·Ga_2O_3:Mn 薄膜电致发光器件发光特性的测试第32-33页
第五章 结果与讨论第33-59页
   ·Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜的折射率和厚度分析第33-35页
   ·Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜的表面形貌分析第35-45页
   ·Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜的结晶结构分析第45-55页
   ·Ga_O_3:Mn 电致发光薄膜发光性能分析第55-59页
第六章 结论第59-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-67页
发表论文第67页

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