| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-29页 |
| 1.I MEMS概述 | 第10-24页 |
| ·MEMS的组成 | 第10-12页 |
| ·MEMS的定义和主要特点 | 第12-13页 |
| ·MEMS的制造技术 | 第13-17页 |
| ·MEMS的历史回顾与发展趋势 | 第17-24页 |
| ·MEMS发展中亟待解决的问题 | 第24-25页 |
| ·多孔硅薄膜的特性及其在MEMS中应用的优势 | 第25-26页 |
| ·论文的研究意义 | 第26页 |
| ·论文研究目标及拟开展的工作 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第2章 多孔硅薄膜材料及其应用 | 第29-36页 |
| ·多孔硅薄膜材料的概述 | 第29-32页 |
| ·多孔硅薄膜的起源和特点 | 第29-30页 |
| ·多孔硅薄膜的应用 | 第30-32页 |
| ·多孔硅薄膜的制备技术 | 第32-35页 |
| ·多孔硅薄膜的制备技术与体微机械、表面微机械加工技术的比较 | 第32-34页 |
| ·多孔硅薄膜制备技术中掩膜材料的选取问题 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 多孔硅薄膜的制备技术 | 第36-50页 |
| ·多孔硅薄膜制备技术的研究 | 第36-39页 |
| ·多孔硅薄膜制备技术的研究水平 | 第36页 |
| ·多孔硅薄膜的形成机理 | 第36-38页 |
| ·多孔硅薄膜形成的理论模型 | 第38-39页 |
| ·化学腐蚀法制备多孔硅薄膜的原理 | 第39-42页 |
| ·实验结果和分析 | 第40-42页 |
| ·单槽电化学腐蚀法制备多孔硅薄膜 | 第42-43页 |
| ·双槽电化学法制备多孔硅薄膜 | 第43-46页 |
| ·实验方法和实验装置 | 第43-46页 |
| ·原电池法 | 第46-49页 |
| ·实验方法和装置 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 多孔硅薄膜微观结构的研究 | 第50-73页 |
| ·多孔硅薄膜的表面形貌研究 | 第50-67页 |
| ·实验结果测试图 | 第50-61页 |
| ·多孔硅薄膜表面形貌分析 | 第61-67页 |
| ·多孔硅薄膜孔隙率的研究 | 第67-70页 |
| ·孔隙率的测量方法 | 第67页 |
| ·实验结果分析 | 第67-70页 |
| ·多孔硅薄膜厚度的研究 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 多孔硅薄膜热学与力学性能的研究 | 第73-93页 |
| ·多孔硅薄膜作为MEMS绝热层的实用举例 | 第73-74页 |
| ·多孔硅薄膜热学性能的研究 | 第74-79页 |
| ·多孔硅薄膜热学性能研究的理论依据 | 第74-79页 |
| ·多孔硅薄膜的热学性能仿真研究 | 第79-85页 |
| ·FLUENT软件的相关介绍 | 第79-82页 |
| ·多孔硅薄膜与其他材料导热性能的对比仿真研究 | 第82-85页 |
| ·多孔硅薄膜作为结构层的实用举例 | 第85-86页 |
| ·多孔硅薄膜力学性能的研究 | 第86-91页 |
| ·多孔硅薄膜的龟裂现象 | 第87-88页 |
| ·多孔硅薄膜力学性能研究的理论依据 | 第88-91页 |
| ·多孔硅薄膜力学性能的实验研究 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 总结与展望 | 第93-95页 |
| ·研究总结 | 第93-94页 |
| ·未来的研究方向 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-98页 |
| 作者简历 | 第98页 |