| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·微芯片热控制的重要性 | 第8-9页 |
| ·微芯片的发展趋势 | 第8页 |
| ·微芯片的耗能与散热 | 第8-9页 |
| ·微冷却技术概述 | 第9-15页 |
| ·微芯片冷却技术的发展趋势 | 第9-11页 |
| ·微芯片冷却技术的种类 | 第11-12页 |
| ·液冷的主要方式 | 第12-15页 |
| ·微液滴冲击冷却的国内外研究现状 | 第15-18页 |
| ·微液滴冲击冷却机理研究现状 | 第15-17页 |
| ·微泵研究现状 | 第17-18页 |
| ·课题简介 | 第18-20页 |
| ·理论来源介绍 | 第18-19页 |
| ·基本工作原理 | 第19-20页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 微液滴的形成机制与传热过程 | 第22-38页 |
| ·液滴发生器 | 第22-24页 |
| ·液滴的产生 | 第24-26页 |
| ·液滴与壁面的相互作用 | 第26-30页 |
| ·韦伯数对液滴的影响 | 第26-27页 |
| ·液滴冲击固体表面的模式 | 第27-28页 |
| ·液滴在壁面的铺展 | 第28-30页 |
| ·液滴冲击的接触热传导过程 | 第30-36页 |
| ·液滴冲击壁面的流动与传热 | 第31-34页 |
| ·影响换热系数的因素 | 第34页 |
| ·冲击液滴的泡状沸腾换热 | 第34-36页 |
| ·冷却剂的选择 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 微机电系统MEMS器件的建模基础 | 第38-56页 |
| ·微机电系统建模 | 第38-40页 |
| ·MEMS建模概念 | 第38-39页 |
| ·微机电系统建模层级 | 第39-40页 |
| ·MEMS器件建模方法 | 第40-50页 |
| ·集总参数建模 | 第41-44页 |
| ·节点分析法 | 第44-47页 |
| ·VHDL-AMS | 第47-50页 |
| ·MEMS耦合场分析 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 静电微泵的设计及建模分析 | 第56-75页 |
| ·微型泵简介 | 第56-57页 |
| ·静电微泵的设计 | 第57-61页 |
| ·静电无阀微泵结构 | 第57页 |
| ·静电无阀微泵工作原理 | 第57-58页 |
| ·静电微泵参数的设计原则 | 第58-61页 |
| ·静电微泵泵膜的模态分析 | 第61-65页 |
| ·模态分析步骤 | 第62-63页 |
| ·模态分析结果与讨论 | 第63-65页 |
| ·静电微泵泵膜的谐态分析 | 第65-67页 |
| ·谐态分析步骤 | 第65-66页 |
| ·谐态分析结果与讨论 | 第66-67页 |
| ·静电微泵泵膜的非线性瞬态分析 | 第67-72页 |
| ·非线性瞬态分析步骤 | 第69-70页 |
| ·非线性瞬态分析结果与讨论 | 第70-72页 |
| ·静电微泵流固耦合分析 | 第72-74页 |
| ·建立微泵模型 | 第72-73页 |
| ·流量分析 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统实验平台的设计 | 第75-82页 |
| ·微液滴冲击冷却系统工作原理 | 第75-76页 |
| ·实验平台设计 | 第76-78页 |
| ·控制系统的设计 | 第78-80页 |
| ·实验方案拟定 | 第80-81页 |
| ·开放系统单相传热的实验方案 | 第80页 |
| ·封闭系统两相传热的实验方案 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第六章 总结与展望 | 第82-84页 |
| ·总结 | 第82页 |
| ·展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-90页 |
| 附录 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |