大尺寸晶圆传输机器人末端执行器接触特性分析与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第10-15页 |
| ·大尺寸晶圆传输机器人研究现状 | 第10-12页 |
| ·摩擦传输式末端执行器研究现状 | 第12-14页 |
| ·真空吸附式末端执行器研究现状 | 第14-15页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 摩擦传输式末端执行器接触特性分析 | 第17-31页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·晶圆材料参数的分析确定 | 第17-20页 |
| ·摩擦传输晶圆的变形分析 | 第20-22页 |
| ·边缘接触时的晶圆变形分析 | 第20-21页 |
| ·凸点接触时的晶圆变形分析 | 第21页 |
| ·圆环接触时的晶圆变形分析 | 第21-22页 |
| ·摩擦传输式末端执行器与晶圆摩擦接触分析 | 第22-30页 |
| ·弹性接触模型 | 第22-25页 |
| ·末端执行器凸点与晶圆摩擦接触分析 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 真空吸附式末端执行器接触特性分析 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·真空吸附式传输晶圆的变形分析 | 第31-35页 |
| ·不同数目吸附点作用下的变形分析 | 第31-33页 |
| ·不同位置吸附点作用下的变形分析 | 第33-35页 |
| ·真空吸附式末端执行器与晶圆摩擦接触分析 | 第35-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 晶圆传输机器人末端执行器设计 | 第44-58页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·末端执行器的总体设计要求 | 第44-45页 |
| ·摩擦传输式末端执行器设计 | 第45-54页 |
| ·末端执行器凸点结构设计 | 第45-49页 |
| ·摩擦传输式末端执行器整体结构设计 | 第49-54页 |
| ·真空吸附式末端执行器设计 | 第54-57页 |
| ·末端执行器吸附点结构设计 | 第54-55页 |
| ·真空吸附式末端执行器整体结构设计 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 晶圆传输末端执行器性能实验研究 | 第58-69页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·实验系统建立 | 第58-62页 |
| ·摩擦传输式末端执行器性能验证实验系统 | 第58-61页 |
| ·真空吸附式末端执行器性能验证实验系统 | 第61-62页 |
| ·摩擦传输式末端执行器性能实验 | 第62-66页 |
| ·不锈钢凸点接触时的摩擦性能实验 | 第63页 |
| ·橡胶凸点接触时的摩擦性能实验 | 第63-64页 |
| ·微阵列凸点接触时的摩擦性能实验 | 第64-66页 |
| ·真空吸附式末端执行器性能实验 | 第66-67页 |
| ·真空吸附式末端执行器摩擦性能实验 | 第66-67页 |
| ·真空吸附式传输晶圆的变形特性实验 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
