基于聚四氟乙烯微孔滤膜的柔性湿度传感器研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 湿度的定义 | 第10-11页 |
| 1.2.1 绝对湿度 | 第10-11页 |
| 1.2.2 相对湿度 | 第11页 |
| 1.2.3 露点(或霜点) | 第11页 |
| 1.3 湿度传感器 | 第11-15页 |
| 1.3.1 电阻式湿度传感器 | 第12页 |
| 1.3.2 电容式湿度传感器 | 第12-13页 |
| 1.3.3 压阻式湿度传感器 | 第13-14页 |
| 1.3.4 光学式湿度传感器 | 第14页 |
| 1.3.5 声表面波式湿度传感器 | 第14-15页 |
| 1.3.6 各种类型湿度传感器的比较 | 第15页 |
| 1.4 湿度传感器的性能指标 | 第15-16页 |
| 1.4.1 量程 | 第15页 |
| 1.4.2 感湿特性曲线 | 第15页 |
| 1.4.3 线性度 | 第15-16页 |
| 1.4.4 灵敏度 | 第16页 |
| 1.4.5 回滞特性 | 第16页 |
| 1.4.6 瞬态特性 | 第16页 |
| 1.5 柔性湿度传感器的研究现状 | 第16-22页 |
| 1.5.1 PET | 第17-19页 |
| 1.5.2 PI | 第19-21页 |
| 1.5.3 纤维素纸质材料 | 第21-22页 |
| 1.6 本文的研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 电容式柔性湿度传感器结构设计 | 第24-34页 |
| 2.1 传感器结构及工作原理 | 第24-27页 |
| 2.2 主要功能材料及其特性 | 第27-33页 |
| 2.2.1 湿度敏感材料 | 第27-29页 |
| 2.2.2 柔性衬底材料 | 第29-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 电容式柔性湿度传感器的制备及测试 | 第34-46页 |
| 3.1 制备工艺 | 第34-39页 |
| 3.1.1 衬底准备与清洗 | 第35页 |
| 3.1.2 淀积悬浮电极 | 第35-36页 |
| 3.1.3 淀积聚酰亚胺 | 第36-39页 |
| 3.1.4 印刷引出电极 | 第39页 |
| 3.2 湿度测试系统 | 第39-42页 |
| 3.3 测试结果与分析 | 第42-45页 |
| 3.3.1 灵敏度与线性度 | 第42-43页 |
| 3.3.2 回滞特性 | 第43页 |
| 3.3.3 瞬态特性 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 阻抗式柔性湿度传感器的设计及制备 | 第46-54页 |
| 4.1 传感器结构及工作原理 | 第46页 |
| 4.2 湿度敏感材料 | 第46-50页 |
| 4.3 传感器制备工艺 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 阻抗式柔性湿度传感器的测试及分析 | 第54-64页 |
| 5.1 阻抗分析 | 第54-59页 |
| 5.1.1 交流阻抗法简介 | 第54页 |
| 5.1.2 不同湿度下传感器的阻抗特性 | 第54-56页 |
| 5.1.3 传感器阻抗特性结果分析 | 第56-59页 |
| 5.2 静态测试 | 第59-61页 |
| 5.2.1 灵敏度 | 第59-60页 |
| 5.2.2 回滞特性 | 第60-61页 |
| 5.3 瞬态测试 | 第61-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 工作总结 | 第64页 |
| 6.2 未来展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72页 |
