| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 压电振动加速度传感器 | 第11-13页 |
| 1.2 MEMS振动加速度传感器 | 第13-15页 |
| 1.3 MOEMS加速度传感器 | 第15-17页 |
| 1.4 论文研究内容及创新点 | 第17-20页 |
| 第二章 基于共振耦合的光学振动加速度传感器理论 | 第20-32页 |
| 2.1 振动加速度传感器的传感理论 | 第20-23页 |
| 2.1.1 加速度传感器的力学模型 | 第20-22页 |
| 2.1.2 加速度分辨率分析 | 第22-23页 |
| 2.1.3 基于共振耦合结构光学传感器的设计与分析 | 第23页 |
| 2.2 双梁共振耦合结构数学建模 | 第23-24页 |
| 2.3 共振耦合结构有限元分析方法 | 第24-28页 |
| 2.3.1 有限元方法简介 | 第24-26页 |
| 2.3.2 受迫振动的三种ANSYS有限元动力学分析方法 | 第26-28页 |
| 2.4 加速度传感器的主要性能指标与测试方法 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 基于共振耦合的光学振动加速度传感器仿真及优化 | 第32-44页 |
| 3.1 单梁有限元分析 | 第32-36页 |
| 3.1.1 阻尼分析 | 第32-33页 |
| 3.1.2 单梁静力学分析 | 第33-34页 |
| 3.1.3 单梁三种有限元动力学分析对比 | 第34-35页 |
| 3.1.4 小阻尼比下的谐响应带宽分析 | 第35-36页 |
| 3.2 双梁共振耦合结构的动力学分析 | 第36-37页 |
| 3.2.1 双梁共振耦合结构的影响因素 | 第36页 |
| 3.2.2 双梁共振耦合结构的动力学分析 | 第36-37页 |
| 3.3 多梁共振耦合结构的有限元分析 | 第37-39页 |
| 3.3.1 多梁耦合设计方案及优化方法 | 第37-38页 |
| 3.3.2 多梁共振耦合结构的动力学分析 | 第38-39页 |
| 3.4 平面多梁耦合结构有限元分析 | 第39-42页 |
| 3.4.1 微弹簧结构弹性系数 | 第39-40页 |
| 3.4.2 平面多梁耦合结构的动力学分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 基于共振耦合的振动加速度传感器系统实现 | 第44-48页 |
| 4.1 激光光栅位移测量系统简介 | 第44-45页 |
| 4.1.1 精密光栅设计与制作 | 第44-45页 |
| 4.2 激光光栅位移测量系统位移测量分辨率实验 | 第45-46页 |
| 4.3 理论加速度分辨率计算 | 第46-47页 |
| 4.3.1 噪声分析 | 第46-47页 |
| 4.3.2 分辨率分析 | 第47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结及展望 | 第48-50页 |
| 5.1 论文总结 | 第48页 |
| 5.2 论文展望 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 作者简介 | 第56页 |
