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基于先进等离子体的薄层二硫化钼荧光特性的调控研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第一章 绪论第8-18页
    1.1 研究背景与意义第8-9页
    1.2 二维过渡金属硫属化合物和二硫化钼第9-14页
        1.2.1 二维过渡金属硫属化合物第9页
        1.2.2 二硫化钼的结构和制备方法第9-14页
    1.3 国内外研究现状第14-16页
    1.4 论文的主要研究内容和架构第16-18页
第二章 二硫化钼薄膜的制备和表征第18-28页
    2.1 二硫化钼样品的制备第18-19页
    2.2 二硫化钼的表征第19-27页
        2.2.1 微结构的表征第19-24页
        2.2.2 荧光的表征第24-25页
        2.2.3 掺杂的表征第25-27页
    2.3 本章小结第27-28页
第三章 温和等离子体处理对二硫化钼的荧光调控及机理研究第28-47页
    3.1 温和等离子体技术第28-32页
        3.1.1 温和等离子体工作原理第30-32页
        3.1.2 氧气等离子体处理实验流程第32页
    3.2 等离子体处理时间对二硫化钼荧光调控的影响第32-37页
        3.2.1 对四层二硫化钼荧光调控的影响第32-34页
        3.2.2 对不同层数二硫化钼荧光调控的影响第34-37页
    3.3 荧光调控机理分析第37-42页
        3.3.1 微结构表征分析第37-39页
        3.3.2 荧光表征分析第39-41页
        3.3.3 第一性原理计算分析第41-42页
    3.4 温和等离子体技术对薄层二硒化钼的荧光调控研究第42-46页
    3.5 本章小结第46-47页
第四章 温和等离子体技术对二硫化钼掺杂的影响第47-54页
    4.1 温和等离子体处理对二硫化钼的掺杂第47-50页
        4.1.1 X射线光电子能谱表征第47-48页
        4.1.2 二硫化钼场效应晶体管电学性能测试第48-50页
    4.2 掺杂机理分析第50-52页
    4.3 温和等离子体处理对二硒化钼的掺杂第52-53页
    4.4 本章小结第53-54页
第五章 总结与展望第54-56页
    5.1 总结第54页
    5.2 展望第54-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-61页
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文第61页

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