| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 气体传感器分类及主要参数 | 第10-15页 |
| 1.2.1 气体传感器分类 | 第11-13页 |
| 1.2.2 气体传感器的主要特性参数 | 第13-14页 |
| 1.2.3 气体传感器存在的问题及主要发展趋势 | 第14-15页 |
| 1.3 研究二氧化碳气体传感器的意义 | 第15-17页 |
| 1.3.1 二氧化碳的介绍及危害 | 第15-16页 |
| 1.3.2 二氧化碳检测技术的发展概况 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 QCM气体传感器的工作原理以及测试系统 | 第19-32页 |
| 2.1 QCM传感器原理 | 第19-26页 |
| 2.1.1 石英晶体的压电效应 | 第19-22页 |
| 2.1.2 QCM气体传感器的结构 | 第22-23页 |
| 2.1.3 QCM气体传感器传感机理 | 第23-25页 |
| 2.1.4 研究QCM气体传感器的关键点 | 第25-26页 |
| 2.2 表面敏感膜与气体分子的吸附 | 第26-29页 |
| 2.2.1 Polanyi吸附势能理论 | 第26-27页 |
| 2.2.2 吸附-脱附过程分析 | 第27-28页 |
| 2.2.3 QCM涂膜材料的选择 | 第28-29页 |
| 2.3 QCM气体传感器测试系统 | 第29-31页 |
| 2.3.1 系统测试设备 | 第29-30页 |
| 2.3.2 起振电路 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 二氧化碳气体传感器制备与气敏性能研究 | 第32-51页 |
| 3.1 PEI气敏材料对二氧化碳的敏感机理研究 | 第33-36页 |
| 3.1.1 主要化学试剂规格与仪器 | 第33-34页 |
| 3.1.2 实验仪器与器件预处理 | 第34-35页 |
| 3.1.3 PEI气敏响应机理 | 第35页 |
| 3.1.4 PEI薄膜表征 | 第35-36页 |
| 3.2 单层敏感薄膜对二氧化碳气体的敏感特性 | 第36-41页 |
| 3.2.1 不同浓度PEI敏感薄膜对二氧化碳的响应 | 第36-38页 |
| 3.2.2 不同工艺参数PEI敏感薄膜对二氧化碳的响应 | 第38-40页 |
| 3.2.3 PEI单层膜传感器的长期稳定性 | 第40-41页 |
| 3.3 复合敏感薄膜对二氧化碳气体的敏感特性 | 第41-45页 |
| 3.3.1 不同掺杂的PEI复合膜对二氧化碳的响应 | 第41-43页 |
| 3.3.2 不同量淀粉掺杂的PEI复合膜对二氧化碳的响应 | 第43-45页 |
| 3.3.3 PEI/Starch复合膜气体传感器的稳定性 | 第45页 |
| 3.4 分层敏感薄膜对二氧化碳气体的敏感特性 | 第45-49页 |
| 3.4.1 不同支撑材料的PEI分层膜对二氧化碳的响应 | 第46-48页 |
| 3.4.2 PEI-SnO2分层膜气体传感器的稳定性 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 环境温湿度对基于PEI的二氧化碳传感器气敏性能的影响 | 第51-60页 |
| 4.1 环境温湿度对PEI单层膜二氧化碳传感器气敏特性的影响 | 第51-54页 |
| 4.1.1 湿度对PEI单层膜二氧化碳传感器的影响 | 第51-53页 |
| 4.1.2 温度对PEI单层膜二氧化碳传感器的影响 | 第53-54页 |
| 4.2 环境温湿度对PEI/Starch复合膜二氧化碳传感器气敏特性的影响 | 第54-57页 |
| 4.2.1 湿度对PEI/Starch复合膜二氧化碳传感器的影响 | 第54-56页 |
| 4.2.2 温度对PEI/Starch复合膜二氧化碳传感器的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 温度对基于PEI的分层膜二氧化碳传感器气敏特性的影响 | 第57-59页 |
| 4.3.1 温度对PEI-Starch分层膜二氧化碳传感器的影响 | 第57-58页 |
| 4.3.2 温度对PEI-SnO2分层膜二氧化碳传感器的影响 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 论文主要工作总结 | 第60-61页 |
| 5.2 下一步工作的展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
