| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 本论文的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 本论文的国内外研究进展 | 第11-16页 |
| 1.3 本论文的研究内容与工作安排 | 第16-17页 |
| 第二章 ZnO/Metglas半无限基底的SAW传播特性 | 第17-34页 |
| 2.1 概述 | 第17-18页 |
| 2.2 散射矩阵法 | 第18-24页 |
| 2.2.1 平面波的传播 | 第18-21页 |
| 2.2.2 分波 | 第21页 |
| 2.2.3 散射矩阵的计算 | 第21-22页 |
| 2.2.4 表面有效介电常数 | 第22-23页 |
| 2.2.5 机电耦合系数 | 第23页 |
| 2.2.6 正确性验证 | 第23-24页 |
| 2.3 ZnO/Metglas半无限基底的声表面波传播特性 | 第24-33页 |
| 2.3.1 频散曲线 | 第26-28页 |
| 2.3.2 机电耦合系数 | 第28-29页 |
| 2.3.3 SAW波速和机电耦合系数随Metglas杨氏模量的变化规律 | 第29-31页 |
| 2.3.4 AlN/Metglas半无限基底结构的声表面波传播特性 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 SAW传播特性的有限元验证分析 | 第34-47页 |
| 3.1 有限元方法 | 第34-35页 |
| 3.2 COMSOL Multiphysics有限元软件 | 第35-36页 |
| 3.3 Euler角和Bond变换 | 第36-37页 |
| 3.4 声表面波传播特性的有限元验证分析 | 第37-46页 |
| 3.4.1 特征频率分析 | 第37-42页 |
| 3.4.2 频域分析 | 第42-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 叉指换能器的设计以及磁场灵敏度分析 | 第47-58页 |
| 4.1 叉指换能器的结构和原理 | 第47-48页 |
| 4.2 叉指换能器的设计方法 | 第48-51页 |
| 4.2.1 色散 δ 函数 | 第49页 |
| 4.2.2 色散等效电路法 | 第49-50页 |
| 4.2.3 表面有效介电常数法 | 第50-51页 |
| 4.3 叉指换能器的设计 | 第51-55页 |
| 4.3.1 材料和厚度 | 第52页 |
| 4.3.2 线宽和中心频率 | 第52-53页 |
| 4.3.3 孔径 | 第53页 |
| 4.3.4 叉指电极的对数 | 第53-54页 |
| 4.3.5 其他参数 | 第54-55页 |
| 4.4 磁场灵敏度分析 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 磁电声表面波磁场传感器的实验探索 | 第58-67页 |
| 5.1 c轴取向ZnO薄膜的制备 | 第58-64页 |
| 5.1.1 ZnO的性质 | 第58页 |
| 5.1.2 ZnO薄膜的性能要求 | 第58-59页 |
| 5.1.3 ZnO薄膜的制备方法与性能表征手段 | 第59-61页 |
| 5.1.4 性能测试与分析 | 第61-64页 |
| 5.2 叉指换能器的工艺探索 | 第64-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 结论 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第75-76页 |
