基于声表面波技术的无线无源温度传感器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 课题研究的意义 | 第8-9页 |
| 1.2 声表面波温度传感器综述 | 第9-14页 |
| 1.2.1 声表面波温度传感器的原理 | 第9-10页 |
| 1.2.2 声表面波温度传感器的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 声表面波温度传感器的设计 | 第15-22页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 声表面波谐振器的设计 | 第15-20页 |
| 2.2.1 压电基底材料的选择 | 第17-18页 |
| 2.2.2 叉指换能器的结构设计 | 第18-19页 |
| 2.2.3 反射栅的设计 | 第19-20页 |
| 2.3 谐振器版图的绘制 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 谐振型声表面波温度传感器的仿真 | 第22-39页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 仿真模型的实现 | 第22-32页 |
| 3.2.1 耦合模型理论 | 第22-25页 |
| 3.2.2 P矩阵模型 | 第25-26页 |
| 3.2.3 串联结构的表达 | 第26-27页 |
| 3.2.4 耦合参数的提取 | 第27-32页 |
| 3.3 谐振器的仿真设计 | 第32-38页 |
| 3.3.1 叉指对数对性能的影响 | 第33页 |
| 3.3.2 反射栅数目对性能的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.3 金属膜厚度对性能的影响 | 第34-36页 |
| 3.3.4 叉指间隙对性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.5 谐振器的加工参数 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 声表面波温度传感器的试验研究 | 第39-52页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 谐振器的加工 | 第39-41页 |
| 4.3 S参数的测试与性能研究 | 第41-43页 |
| 4.3.1 S参数的测试 | 第41-42页 |
| 4.3.2 谐振器的性能研究 | 第42-43页 |
| 4.4 谐振频率的测试 | 第43-45页 |
| 4.5 传感器的温度特性试验 | 第45-51页 |
| 4.5.1 传感器的温度标定 | 第45-48页 |
| 4.5.2 传感器的滞回特性 | 第48-50页 |
| 4.5.3 传感器的灵敏度稳定性 | 第50-51页 |
| 4.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
