纳米开关三维装配及测试的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第8-17页 |
| 1.2.1 纳米开关的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 纳米电子器件装配技术的研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.3.2 课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 纳米开关的设计与微电极加工 | 第18-36页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 纳米开关的基本特性 | 第18-20页 |
| 2.2.1 接触方式 | 第18-19页 |
| 2.2.2 驱动方式 | 第19-20页 |
| 2.2.3 材料选择 | 第20页 |
| 2.2.4 连接方式 | 第20页 |
| 2.3 纳米开关的物理建模 | 第20-28页 |
| 2.3.1 垂直结构单向纳米开关的物理建模 | 第21-25页 |
| 2.3.2 水平结构双向纳米开关的物理建模 | 第25-28页 |
| 2.4 纳米开关的参数改进 | 第28-30页 |
| 2.5 微电极的加工方案 | 第30-33页 |
| 2.5.1 微电极加工的光刻技术 | 第30-31页 |
| 2.5.2 光刻掩膜版的设计 | 第31-33页 |
| 2.6 微电极加工工艺 | 第33-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 纳米开关装配过程的建模与实验 | 第36-52页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 纳米操作的弹性接触理论 | 第36-38页 |
| 3.2.1 Hertz 弹性接触模型 | 第36-37页 |
| 3.2.2 DMT 弹性接触模型 | 第37页 |
| 3.2.3 JKR 弹性接触模型 | 第37页 |
| 3.2.4 M-D 弹性接触理论 | 第37-38页 |
| 3.3 探针与纳米线交互作用力建模 | 第38-42页 |
| 3.3.1 探针与纳米线间的作用力分析 | 第39-40页 |
| 3.3.2 纳米线与基底的接触力分析 | 第40页 |
| 3.3.3 纳米线抓取操作的分析与计算 | 第40-42页 |
| 3.4 纳米操作系统原理及湿度可控的微环境 | 第42-45页 |
| 3.4.1 纳米操作系统的工作原理 | 第42页 |
| 3.4.2 湿度可控微环境的搭建 | 第42-45页 |
| 3.5 纳米开关的装配 | 第45-51页 |
| 3.5.1 实验准备 | 第45-47页 |
| 3.5.2 纳米开关装配的过程 | 第47-49页 |
| 3.5.3 关键环节的实验结果及分析 | 第49-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 纳米开关的关键性能分析与测试 | 第52-59页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 纳米开关伏安特性的测试 | 第52-54页 |
| 4.3 纳米开关关键性能的分析 | 第54-57页 |
| 4.3.1 氧化锌纳米线的实际受力及机械性能分析 | 第54-55页 |
| 4.3.2 开启电压与功耗的理论计算 | 第55-56页 |
| 4.3.3 纳米开关的状态转换时间 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
