| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题研究的意义 | 第8页 |
| ·微压传感器的发展现状 | 第8-11页 |
| ·课题的主要工作 | 第11-12页 |
| 第二章 微压传感器的结构设计 | 第12-32页 |
| ·微压传感器工作原理 | 第12-23页 |
| ·硅材料的压阻效应 | 第13-20页 |
| ·平面应力场中电阻器的压阻效应 | 第20-23页 |
| ·微压传感器的敏感元件的有限元模拟分析 | 第23-30页 |
| ·有限元分析软件的介绍 | 第23-25页 |
| ·敏感元件结构的有限元模拟 | 第25-29页 |
| ·有限元模拟结果分析 | 第29-30页 |
| ·敏感元件结构的参数设计 | 第30页 |
| ·封装结构设计 | 第30-32页 |
| 第三章 微压传感器的工艺设计 | 第32-46页 |
| ·晶圆材料的选择 | 第32-35页 |
| ·芯片工艺流程 | 第35-39页 |
| ·几个关键工艺 | 第39-43页 |
| ·加工工艺中的难点及解决方法 | 第43-46页 |
| 第四章 微压传感器的测试及结果分析 | 第46-50页 |
| ·传感器的静态特性 | 第46-48页 |
| ·传感器的测试及结果分析 | 第48-50页 |
| 第五章 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 在学研究成果 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |