投影光刻物镜偏振像差研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第14-34页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-27页 |
| 1.1.1 集成电路 | 第14-18页 |
| 1.1.2 光刻和光刻物镜 | 第18-26页 |
| 1.1.3 偏振像差 | 第26-27页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第27-32页 |
| 1.2.1 偏振像差的描述理论 | 第27-29页 |
| 1.2.2 偏振像差的补偿 | 第29-31页 |
| 1.2.3 偏振像差的测量 | 第31-32页 |
| 1.3 论文研究内容和结构安排 | 第32-34页 |
| 1.3.1 论文研究内容 | 第32-33页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第33-34页 |
| 第2章 偏振像差的描述理论 | 第34-62页 |
| 2.1 概述 | 第34页 |
| 2.2 偏振像差的表征 | 第34-37页 |
| 2.2.1 琼斯矩阵和琼斯矢量 | 第34-35页 |
| 2.2.2 穆勒矩阵和斯托克斯矢量 | 第35-37页 |
| 2.3 光学系统中的偏振光线追迹 | 第37-44页 |
| 2.3.1 多层薄膜理论 | 第37-40页 |
| 2.3.2 偏振光线追迹 | 第40-44页 |
| 2.4 琼斯矩阵的分解 | 第44-55页 |
| 2.4.1 琼斯矩阵的奇异值分解 | 第44-51页 |
| 2.4.2 琼斯矩阵的方向泽尼克分解 | 第51-55页 |
| 2.5 基于同态映照的穆勒矩阵分解 | 第55-60页 |
| 2.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 第3章 偏振像差的补偿：旋转补偿法 | 第62-80页 |
| 3.1 概述 | 第62页 |
| 3.2 CaF_2的本征双折射特性 | 第62-65页 |
| 3.3 CaF_2组合法补偿延迟 | 第65-68页 |
| 3.4 基于粒子群算法的旋转补偿法 | 第68-77页 |
| 3.4.1 RMSOZP | 第68-71页 |
| 3.4.2 PSOrotation | 第71-73页 |
| 3.4.3 物镜仿真示例 | 第73-77页 |
| 3.5 本章小结 | 第77-80页 |
| 第4章 偏振像差测量：穆勒矩阵测量研究 | 第80-104页 |
| 4.1 概述 | 第80页 |
| 4.2 测量原理及优化 | 第80-89页 |
| 4.2.1 穆勒矩阵测量原理 | 第80-85页 |
| 4.2.2 条件数优化 | 第85-89页 |
| 4.3 误差分析 | 第89-98页 |
| 4.3.1 误差来源及分类 | 第89-90页 |
| 4.3.2 系统误差分析 | 第90-95页 |
| 4.3.3 随机误差分析 | 第95-96页 |
| 4.3.4 公差分析 | 第96-98页 |
| 4.4 系统误差标定 | 第98-102页 |
| 4.4.1 解析法标定 | 第98-100页 |
| 4.4.2 优化算法标定 | 第100-102页 |
| 4.5 本章小结 | 第102-104页 |
| 第5章 总结与展望 | 第104-108页 |
| 5.1 全文总结 | 第104-105页 |
| 5.2 论文创新点 | 第105-106页 |
| 5.3 工作展望 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-114页 |
| 致谢 | 第114-116页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第116页 |
