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三维纳米线簇SAW气敏传感器的设计与实现

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 国内外研究情况第11-14页
    1.2 本文主要工作第14-15页
    1.3 本论文的结构安排第15-17页
第二章 三维纳米线簇SAW气敏传感器的设计与研究第17-40页
    2.1 三维纳米线簇SAW气敏传感器工作原理第17-19页
        2.1.1 SAW气敏传感器工作原理第17页
        2.1.2 三维纳米线簇SAW传感器第17-19页
    2.2 三维纳米线簇SAW气敏传感器的设计第19-29页
        2.2.1 总体方案设计第19页
        2.2.2 SAW芯片软件仿真模型建立与分析第19-29页
    2.3 SAW芯片设计与制备第29-36页
        2.3.1 SAWR芯片设计第29-35页
        2.3.2 SAWR芯片的制备第35-36页
    2.4 高温度稳定性声表面波谐振器(SAWR)设计研究第36-39页
    2.5 本章小结第39-40页
第三章 SAW表面三维纳米线簇制备技术第40-52页
    3.1 水热法制备纳米线簇第41-45页
    3.2 纳米线簇修饰改性技术第45-51页
        3.2.1 修饰改性材料的制备第47-48页
        3.2.2 超支化聚合物A1表征分析第48-50页
        3.2.3 三维纳米线簇的修饰改性第50-51页
    3.3 本章小结第51-52页
第四章 SAW传感器信号检测技术第52-72页
    4.1 信号提取电路研究第52-53页
    4.2 电路结构设计第53-55页
    4.3.低功耗设计第55-56页
    4.4 电磁兼容设计第56-57页
    4.5 数据采集与处理系统软件开发第57-63页
    4.6 模式识别算法第63-69页
    4.7 三维纳米线簇SAW气敏传感器气体检测试验及结果分析第69-71页
    4.8 本章小结第71-72页
第五章 结论第72-75页
致谢第75-76页
参考文献第76-79页
附录1 声表面波谐振式传感器件结构版图设计的MATLAB源程序第79-87页
附录2 数据采集与处理系统软件源程序第87-97页

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