摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-17页 |
1.1 国内外研究情况 | 第11-14页 |
1.2 本文主要工作 | 第14-15页 |
1.3 本论文的结构安排 | 第15-17页 |
第二章 三维纳米线簇SAW气敏传感器的设计与研究 | 第17-40页 |
2.1 三维纳米线簇SAW气敏传感器工作原理 | 第17-19页 |
2.1.1 SAW气敏传感器工作原理 | 第17页 |
2.1.2 三维纳米线簇SAW传感器 | 第17-19页 |
2.2 三维纳米线簇SAW气敏传感器的设计 | 第19-29页 |
2.2.1 总体方案设计 | 第19页 |
2.2.2 SAW芯片软件仿真模型建立与分析 | 第19-29页 |
2.3 SAW芯片设计与制备 | 第29-36页 |
2.3.1 SAWR芯片设计 | 第29-35页 |
2.3.2 SAWR芯片的制备 | 第35-36页 |
2.4 高温度稳定性声表面波谐振器(SAWR)设计研究 | 第36-39页 |
2.5 本章小结 | 第39-40页 |
第三章 SAW表面三维纳米线簇制备技术 | 第40-52页 |
3.1 水热法制备纳米线簇 | 第41-45页 |
3.2 纳米线簇修饰改性技术 | 第45-51页 |
3.2.1 修饰改性材料的制备 | 第47-48页 |
3.2.2 超支化聚合物A1表征分析 | 第48-50页 |
3.2.3 三维纳米线簇的修饰改性 | 第50-51页 |
3.3 本章小结 | 第51-52页 |
第四章 SAW传感器信号检测技术 | 第52-72页 |
4.1 信号提取电路研究 | 第52-53页 |
4.2 电路结构设计 | 第53-55页 |
4.3.低功耗设计 | 第55-56页 |
4.4 电磁兼容设计 | 第56-57页 |
4.5 数据采集与处理系统软件开发 | 第57-63页 |
4.6 模式识别算法 | 第63-69页 |
4.7 三维纳米线簇SAW气敏传感器气体检测试验及结果分析 | 第69-71页 |
4.8 本章小结 | 第71-72页 |
第五章 结论 | 第72-75页 |
致谢 | 第75-76页 |
参考文献 | 第76-79页 |
附录1 声表面波谐振式传感器件结构版图设计的MATLAB源程序 | 第79-87页 |
附录2 数据采集与处理系统软件源程序 | 第87-97页 |