| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 半导体企业集成制造系统及SECS/GEM的发展 | 第11-13页 |
| 1.2 本论文的主要工作 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第14-15页 |
| 1.4 本章小节 | 第15-16页 |
| 第二章 半导体生产设备通讯标准SECS/GEM介绍 | 第16-47页 |
| 2.1 SECS/GEM总框架介绍 | 第16-17页 |
| 2.2 SECS-II标准介绍 | 第17-23页 |
| 2.2.1 SECS-II消息分类及功能 | 第17-19页 |
| 2.2.2 SECS-II的七种会话模式 | 第19页 |
| 2.2.3 SECS-II的报文格式 | 第19-22页 |
| 2.2.4 SECS-II消息内容的定义 | 第22-23页 |
| 2.3 SML语言介绍 | 第23-24页 |
| 2.4 HSMS介绍 | 第24-34页 |
| 2.4.1 HSMS报文格式 | 第25-30页 |
| 2.4.2 HSMS的状态 | 第30-31页 |
| 2.4.3 HSMS的通信流程以及超时处理 | 第31-34页 |
| 2.5 GEM标准模型介绍 | 第34-46页 |
| 2.5.1 GEM通用状态模型 | 第35-39页 |
| 2.5.2 GEM定义的生产设备能力 | 第39-46页 |
| 2.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 基于HSMS-SS的SECS/GEM HOST端系统设计 | 第47-70页 |
| 3.1 总体设计 | 第47页 |
| 3.2 PYTHON语言介绍 | 第47-48页 |
| 3.3 HSMS协议实现 | 第48-57页 |
| 3.3.1 HSMS消息数据结构的实现 | 第48-49页 |
| 3.3.2 HSMS消息结构与网络字节流的转换 | 第49-50页 |
| 3.3.3 HSMS网络字节流的发送与接收 | 第50-51页 |
| 3.3.4 HSMS对于SECS-II消息结构的封包与解包 | 第51-52页 |
| 3.3.5 HSMS-SS Active模式的实现 | 第52-57页 |
| 3.3.6 小节 | 第57页 |
| 3.4 SECS-II协议层报文的实现及转换 | 第57-61页 |
| 3.4.1 dumps方法的实现 | 第58-60页 |
| 3.4.2 loads方法的实现 | 第60-61页 |
| 3.4.3 小节 | 第61页 |
| 3.5 SECS-II描述性语言SML的解析 | 第61-64页 |
| 3.5.1 sml2list方法实现 | 第62-63页 |
| 3.5.2 tosml方法实现 | 第63-64页 |
| 3.6 系统消息传输流程总概 | 第64-65页 |
| 3.7 GEM EI类的实现 | 第65-69页 |
| 3.7.1 COMMUNICATING通信状态的建立 | 第68页 |
| 3.7.2 控制状态ON-LINE的建立 | 第68-69页 |
| 3.8 本章小节 | 第69-70页 |
| 第四章 针对芯片焊接机GEM的实现 | 第70-84页 |
| 4.1 SECS/GEM在CIMS集成系统中的作用 | 第70-71页 |
| 4.2 生产设备状态参数收集 | 第71-74页 |
| 4.3 报警管理 | 第74-77页 |
| 4.4 事件报告处理 | 第77-81页 |
| 4.5 远程控制 | 第81-82页 |
| 4.6 总结实现 | 第82-83页 |
| 4.7 本章小节 | 第83-84页 |
| 第五章 结论与展望 | 第84-86页 |
| 5.1 结论 | 第84页 |
| 5.2 课题研究的不足及展望 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
