| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 一般SCADA 监控系统通信框架和通信方式介绍 | 第12-17页 |
| 1.1 SCADA 监控系统概述 | 第12-15页 |
| 1.2 SCADA 监控系统常见子站与主站端通讯方案 | 第15-17页 |
| 第二章 洁净室技术介绍 | 第17-24页 |
| 2.1 洁净室技术介绍 | 第17-18页 |
| 2.2 洁净空调系统中的过滤器 | 第18-22页 |
| 2.2.1 洁净空调系统中过滤器的作用和分类如下 | 第18-20页 |
| 2.2.2 过滤器特性指标：面速和滤速，效率，阻力，容尘量 | 第20-22页 |
| 2.2.3 过滤器的使用期限 | 第22页 |
| 2.3 洁净室空调系统的运行及控制方式 | 第22-24页 |
| 第三章 RSview32 上位软件及相关软件的应用介绍 | 第24-33页 |
| 3.1 RSview32 上位工业监控软件 | 第24页 |
| 3.2 OPC Server | 第24-25页 |
| 3.3 通讯工具软件 | 第25-32页 |
| 3.3.1 基于以太网的FINS 通信服务原理 | 第26-27页 |
| 3.3.2 FINS/UDP 方式 | 第27-28页 |
| 3.3.3 FINS/TCP 方式 | 第28-29页 |
| 3.3.4 冗余以太网的建立 | 第29-30页 |
| 3.3.5 FinsGateWay 软件 | 第30页 |
| 3.3.6 冗余以太网的设定 | 第30-31页 |
| 3.3.7 CS1W-ETN21 单元通信状态检测字 | 第31-32页 |
| 3.4 PLC 编程软件 | 第32-33页 |
| 第四章 Omron PLC 设备应用说明 | 第33-37页 |
| 4.1 Omron PLC 设备介绍 | 第33-34页 |
| 4.1.1 Omron CS1 系列 PLC 设备的主要特点及应用 | 第33-34页 |
| 4.1.2 PLC 的应用选型 | 第34页 |
| 4.2 组成数据采集模块的介绍和选择 | 第34-37页 |
| 第五章 系统设计和结构分析 | 第37-45页 |
| 5.1 项目总体状况介绍 | 第37-39页 |
| 5.2 现场网络架构叙述 | 第39-44页 |
| 5.2.1 现场一层PLC 网络 | 第39-40页 |
| 5.2.2 监控二层PLC 网络 | 第40-42页 |
| 5.2.3 信息层以太网 | 第42-44页 |
| 5.3 电脑主要软、硬件设备 | 第44-45页 |
| 第六章 系统最终实现结果和性能 | 第45-55页 |
| 第七章 结论和未来前景分析 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 附录 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第62页 |
