| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 无线无源单参数传感器 | 第10-13页 |
| 1.2.2 功能集成化无线无源传感器 | 第13-16页 |
| 1.3 本论文主要研究的内容 | 第16-17页 |
| 2 温湿压三参数无线无源传感器原理、设计与材料选型 | 第17-31页 |
| 2.1 温湿压三参数传感器基本测试原理 | 第17-20页 |
| 2.1.1 无线测试原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 压力传感器的敏感机理 | 第18-19页 |
| 2.1.3 温度传感器的敏感机理 | 第19-20页 |
| 2.1.4 湿度传感器的敏感机理 | 第20页 |
| 2.2 传感器电感电容模型与空间布局 | 第20-25页 |
| 2.2.1 平面螺旋电感模型 | 第21-22页 |
| 2.2.2 电容器模型 | 第22-24页 |
| 2.2.3 多参传感器电感电容空间布局 | 第24-25页 |
| 2.3 传感器材料选型 | 第25-30页 |
| 2.3.1 传感器基底材料 | 第25-27页 |
| 2.3.2 传感器湿敏材料 | 第27-29页 |
| 2.3.3 叉指电极材料 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 无线无源传感器仿真设计与制备 | 第31-47页 |
| 3.1 无线无源传感器电磁学仿真 | 第31-35页 |
| 3.1.1 单参数传感器电磁学仿真 | 第31-33页 |
| 3.1.2 多参数传感器电磁学仿真 | 第33-35页 |
| 3.2 传感器热、力学仿真 | 第35-38页 |
| 3.2.1 传感器热学仿真 | 第35-36页 |
| 3.2.2 传感器力学仿真 | 第36-38页 |
| 3.3 无线无源传感器的制备 | 第38-46页 |
| 3.3.1 无线无源单参数湿度传感器的制备 | 第38-41页 |
| 3.3.2 温度压力双参数传感器制备工艺 | 第41-44页 |
| 3.3.3 集成温湿压三参数传感器的制备工艺 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 无线无源传感器性能测试与研究 | 第47-57页 |
| 4.1 无源单参数湿度传感器的测试 | 第47-49页 |
| 4.1.1 湿度的测试指标及基本测试参数 | 第47-48页 |
| 4.1.2 湿度传感器测试平台的搭建、测试与分析 | 第48-49页 |
| 4.2 温湿压三参数传感器的温压复合测试及分析 | 第49-54页 |
| 4.2.1 温度-压力复合测试平台搭建 | 第49-50页 |
| 4.2.2 温压复合测试结果及分析 | 第50-54页 |
| 4.3 温湿压三参数传感器的温湿复合测试及分析 | 第54-56页 |
| 4.3.1 温湿复合测试平台搭建 | 第54页 |
| 4.3.2 温湿复合测试结果及分析 | 第54-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 工作总结 | 第57-58页 |
| 5.2 工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |