投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| ·研究背景与意义 | 第12-14页 |
| ·光刻技术研究进展 | 第14-16页 |
| ·光刻技术研究现状 | 第14-15页 |
| ·下一代光刻技术 | 第15-16页 |
| ·检焦技术研究进展 | 第16-21页 |
| ·Canon公司检焦技术 | 第17-18页 |
| ·Nikon公司检焦技术 | 第18-20页 |
| ·ASML公司检焦技术 | 第20-21页 |
| ·研究工作的基础 | 第21-25页 |
| ·本文主要研究内容及结构安排 | 第25-26页 |
| 第2章 线阵CCD检焦系统总体设计及相关技术 | 第26-38页 |
| ·CCD简介 | 第26-28页 |
| ·CCD的结构及工作过程 | 第26-28页 |
| ·选择CCD器件考虑的主要参数 | 第28页 |
| ·Camera Link接口标准与协议 | 第28-34页 |
| ·Camera Link协议 | 第29-30页 |
| ·Camera Link信号特性 | 第30-31页 |
| ·Camera Link端口分配 | 第31页 |
| ·Camera Link连接特性 | 第31-34页 |
| ·线阵CCD下位机闭环检焦系统总体结构 | 第34-38页 |
| ·面阵CCD上位机闭环检焦系统的问题分析 | 第34页 |
| ·原检焦系统问题的解决方案 | 第34-35页 |
| ·线阵CCD下位机闭环检焦系统 | 第35-38页 |
| 第3章 系统硬件设计 | 第38-56页 |
| ·系统硬件总体设计 | 第38-39页 |
| ·Camera Link图像接收模块 | 第39-42页 |
| ·Camera Link视频图像信号采集电路设计 | 第39-41页 |
| ·Camera Link相机控制电路设计 | 第41页 |
| ·Camera Link相机串行通信电路设计 | 第41-42页 |
| ·FPGA图像处理模块 | 第42-51页 |
| ·FPGA工作原理及结构 | 第42-46页 |
| ·FPGA芯片选型 | 第46-47页 |
| ·FPGA的最小系统设计 | 第47-50页 |
| ·电源电路 | 第47-48页 |
| ·全局时钟电路 | 第48页 |
| ·配置电路 | 第48-50页 |
| ·图像处理模块电路设计 | 第50-51页 |
| ·FPGA电机控制模块 | 第51页 |
| ·UART通信模块 | 第51-53页 |
| ·UART简介 | 第51-52页 |
| ·UART接口设计 | 第52-53页 |
| ·显示模块 | 第53页 |
| ·PCB设计 | 第53-56页 |
| ·PCB制作 | 第53-54页 |
| ·PCB焊接调试 | 第54-56页 |
| 第4章 系统软件设计 | 第56-73页 |
| ·检焦图像处理算法 | 第56-60页 |
| ·峰值法 | 第57页 |
| ·中心法 | 第57页 |
| ·重心法 | 第57-58页 |
| ·二项式插值边沿检测法 | 第58-60页 |
| ·FPGA的设计流程 | 第60-61页 |
| ·Verilog HDL逻辑设计 | 第61-69页 |
| ·Verilog HDL语言简介 | 第61-62页 |
| ·自顶向下（Top_Down）设计思想 | 第62页 |
| ·FPGA内部模块划分 | 第62-63页 |
| ·图像处理模块 | 第63-64页 |
| ·电机控制模块 | 第64-65页 |
| ·UART通信模块 | 第65-67页 |
| ·显示模块 | 第67-69页 |
| ·仿真结果 | 第69-73页 |
| ·Matlab仿真结果及分析 | 第69-70页 |
| ·ISIM仿真结果及分析 | 第70-73页 |
| 第5章 系统实验及结果分析 | 第73-80页 |
| ·系统运行环境 | 第73页 |
| ·测试平台搭建 | 第73-74页 |
| ·检焦精度实验及结果分析 | 第74-77页 |
| ·检焦量程实验及结果分析 | 第77-78页 |
| ·检焦调焦速度实验及结果分析 | 第78页 |
| ·实验结论 | 第78-80页 |
| 第6章 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·总结 | 第80页 |
| ·展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 作者简历及在学期间发表学术论文及研究成果 | 第86-87页 |
