| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-12页 |
| 第二章 文献综述 | 第12-24页 |
| ·ZnO结构与性质 | 第12-15页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·ZnO的性质和应用 | 第13-15页 |
| ·非极性和半极性ZnO薄膜 | 第15-19页 |
| ·纤锌矿结构ZnO的极化效应 | 第15-16页 |
| ·非极性ZnO薄膜 | 第16-18页 |
| ·半极性ZnO薄膜 | 第18-19页 |
| ·ZnO薄膜的p型掺杂 | 第19-20页 |
| ·V族元素掺杂 | 第19-20页 |
| ·I族元素掺杂 | 第20页 |
| ·ZnO/NiO异质结 | 第20-21页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第21-22页 |
| ·课题意义和研究内容 | 第22-24页 |
| 第三章 样品制备与性能表征 | 第24-30页 |
| ·激光脉冲沉积法(PLD) | 第24-27页 |
| ·PLD系统结构 | 第24-26页 |
| ·脉冲激光沉积的基本原理 | 第26-27页 |
| ·样品制备过程 | 第27-28页 |
| ·靶材的制备 | 第27页 |
| ·衬底及清洗 | 第27页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第27-28页 |
| ·样品性能表征 | 第28-30页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第28页 |
| ·场发射扫描电子显微电镜(FE-SEM) | 第28-29页 |
| ·霍尔测试(Hall) | 第29页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第29页 |
| ·其它测试 | 第29-30页 |
| 第四章 ZnO的取向对NiO/ZnO异质结带阶的影响 | 第30-40页 |
| ·实验样品的制备 | 第30-33页 |
| ·XPS测定ZnO/NiO异质结的能带结构 | 第33-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第五章 R面蓝宝石衬底上非极性p-Zn0薄膜的制备 | 第40-54页 |
| ·Zn(Mn_(0.03),Na_(0.04))O薄膜的制备 | 第40-44页 |
| ·结构与形貌分析 | 第40-42页 |
| ·电学和光学性能分析 | 第42-44页 |
| ·Zn(Mn_(0.03),Na_(0.02))O薄膜的制备 | 第44-47页 |
| ·结构与形貌分析 | 第44-46页 |
| ·电学和光学性能分析 | 第46-47页 |
| ·Na的掺杂浓度对Zn(Mn.Na)O薄膜的影响 | 第47-52页 |
| ·结构与形貌分析 | 第47-50页 |
| ·电学和光学性能分析 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 第六章 非晶衬底半极性ZnO基薄膜的制备 | 第54-64页 |
| ·半极性Zn(Co,Ga)O薄膜的制备 | 第54-57页 |
| ·结构与形貌分析 | 第54-56页 |
| ·衬底对半极性Zn(Co,Ga)O薄膜的影响 | 第56-57页 |
| ·半极性Zn(Mn,Li)O薄膜的制备 | 第57-62页 |
| ·结构与形貌分析 | 第57-59页 |
| ·电学与光学性能分析 | 第59-60页 |
| ·衬底温度对半极性Zn(Mn,Li)O薄膜的影响 | 第60-61页 |
| ·纯ZnO半极性薄膜的制备 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 第七章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 个人简历 | 第76-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第78页 |
