薄膜光学微力传感器理论与试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第13-14页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·研究意义 | 第14页 |
| ·国内外光纤传感技术的发展概况 | 第14-18页 |
| ·光纤传感器的发展现状 | 第14-16页 |
| ·光纤压力传感器的发展现状 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第18-19页 |
| ·本文的内容安排 | 第19-20页 |
| 第二章 光强调制数学模型以及光纤特征结构参数分析 | 第20-33页 |
| ·微力测量基本工作原理 | 第20-23页 |
| ·光纤传感器的基本工作原理 | 第20-22页 |
| ·双同心圆型光纤工作原理 | 第22-23页 |
| ·多层同轴型光纤传感器输出特性的建模与仿真 | 第23-32页 |
| ·输出光通量之比与薄膜反射面斜率的关系 | 第28页 |
| ·输出光通量之比与发射光纤数值孔径的关系 | 第28-29页 |
| ·输出光通量之比与发射光纤芯径的关系 | 第29-30页 |
| ·输出光通量之比与外接收光纤芯径的关系 | 第30页 |
| ·输出光通量之比与内接收光纤芯径的关系 | 第30-31页 |
| ·输出光通量之比与光纤端面到薄膜的初始间距的关系 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 光学薄膜结构参数设计 | 第33-40页 |
| ·目标函数的建立 | 第33-34页 |
| ·光学薄膜的有限元模型的建立 | 第34-35页 |
| ·正交试验 | 第35-37页 |
| ·试验结果分析 | 第37-38页 |
| ·误差分析与公式修正 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 测试平台的设计与物理实现 | 第40-50页 |
| ·测试平台设计 | 第40-43页 |
| ·元器件选型 | 第43-49页 |
| ·滚珠丝杠选型 | 第45-47页 |
| ·轴承选型 | 第47-48页 |
| ·步进电机选型 | 第48-49页 |
| ·联轴器选型 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 测试平台的点位运动控制以及光电检测的实现 | 第50-60页 |
| ·点位运动控制实现 | 第50-54页 |
| ·直线加减速 | 第51-52页 |
| ·S 曲线加减速 | 第52-54页 |
| ·光电检测系统 | 第54-59页 |
| ·光源以及光导纤维的特性 | 第54-55页 |
| ·光探测器以及信号的放大 | 第55-57页 |
| ·信号的滤波 | 第57-58页 |
| ·基于工控机的信号采集 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 微力传感器的试验研究 | 第60-76页 |
| ·测试系统的调试 | 第60页 |
| ·标准微粒子的检测试验 | 第60-62页 |
| ·结构参数分析 | 第62-67页 |
| ·薄膜直径对系统输出特性的影响 | 第62-63页 |
| ·薄膜厚度对系统输出特性的影响 | 第63-65页 |
| ·薄膜材料对系统输出特性的影响 | 第65-66页 |
| ·光纤探头到薄膜的初始距离对系统输出特性的影响 | 第66-67页 |
| ·试验数据的公式拟合 | 第67-69页 |
| ·测量误差分析 | 第69-71页 |
| ·传感器静态特性标定 | 第71-75页 |
| ·传感器的灵敏度 | 第71-72页 |
| ·传感器的重复性 | 第72-73页 |
| ·传感器的精度 | 第73-74页 |
| ·传感器的稳定性 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第七章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·课题总结 | 第76-77页 |
| ·课题展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第83页 |
