| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 引言 | 第5-6页 |
| 第一章 PECVD工艺介绍 | 第6-22页 |
| ·化学气相淀积反应 | 第6-7页 |
| ·等离子体辅助CVD | 第7-8页 |
| ·等离子体增强CVD | 第8-10页 |
| ·PECVD工艺参数对薄膜性质的影响及应用 | 第10-22页 |
| 第二章 失效分析及试验的方案 | 第22-34页 |
| ·前言 | 第22页 |
| ·电路失效机理的分析和研究 | 第22-23页 |
| ·电路失效参数的研究 | 第23-28页 |
| ·实验样品的制备 | 第28页 |
| ·实验结果与讨论 | 第28-34页 |
| 第三章 PECVD工艺优化 | 第34-45页 |
| ·前言 | 第34页 |
| ·正交试验 | 第34-35页 |
| ·工艺菜单优化 | 第35-36页 |
| ·工艺优化后的验证和生产实践 | 第36-45页 |
| 第四章 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |