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集成电路电离辐射效应数值模拟及X射线剂量增强效应的研究

第一章 绪论第1-21页
 §1.1 辐射环境、辐射效应及研究意义第11-16页
  1.1.1 辐射环境第11-12页
  1.1.2 基本辐射效应第12-13页
  1.1.3 立项背景及研究意义第13-16页
 §1.2 国内外现状第16-18页
 §1.3 本文的主要工作第18-21页
第二章 MOS结构的电离辐射效应第21-36页
 §2.1 MOS结构的电荷和陷阱第21-22页
 §2.2 MOS器件的电离辐射效应第22-25页
  2.2.1 电子—空穴对的产生第22页
  2.2.2 电子空穴对的初始俘获及逃脱复合的空穴产额第22-25页
 §2.3 电离辐射效应对MOS器件造成的影响第25-28页
 §2.4 氧化物及界面态电荷的测量第28-30页
 §2.5 电离辐射效应的损伤加固技术第30-31页
  2.5.1 工艺条件的改进第30页
  2.5.2 器件结构第30-31页
 §2.6 器件数值模拟方法第31-34页
  2.6.1 漂移—扩散模型第31-33页
  2.6.2 数值求解方法第33-34页
 §2.7 小结第34-36页
第三章 单粒子效应的二维数值模拟第36-56页
 §3.1 单粒子效应第36-38页
 §3.2 单粒子翻转电荷漏斗模型第38-39页
 §3.3 单粒子翻转物理模型及结果分析第39-43页
  3.3.1 单粒子翻转物理模型及器件结构第39-40页
  3.3.2 计算结果分析第40-43页
 §3.4 SRAM电路的SEU模拟第43-46页
  3.4.1 SRAM存储单元及工作原理第43-44页
  3.4.2 模拟计算第44-46页
 §3.5 N—沟道功率MOSFETS单粒子烧毁的二维数值模拟第46-48页
  3.5.1 N沟功率MOSFET工作原理第46页
  3.5.2 单粒子烧毁机制第46-48页
 §3.6 理论模拟与实验结果比较第48-50页
 §3.7 与单粒子烧毁灵敏度相关的几个参数第50-53页
 §3.8 理论模拟与重离子微束研究第53-55页
 §3.9 小结第55-56页
第四章 微电路PN结瞬态辐照及快前沿电磁脉冲损伤数值模拟第56-69页
 §4.1 微电路PN结瞬态电离辐射响应数值模拟第56-62页
  4.1.1 计算物理模型第57-58页
  4.1.2 模拟结果及讨论分析第58-62页
 §4.2 不同上升时间快前沿电磁脉冲引起PN结失效、烧毁数值模拟第62-67页
  4.2.1 物理模型第63页
  4.2.2 计算结果分析第63-67页
 §4.3 小结第67-69页
第五章 MOS器件辐照产生的界面态陷阱性质第69-79页
 §5.1 界面陷阱的产生及其性质第69-71页
  5.1.1 辐照前的界面态第69页
  5.1.2 辐照引入的氧化物陷阱电荷和界面态电荷第69-70页
  5.1.3 辐照后的界面态密度分布第70-71页
  5.1.4 辐照引入的界面陷阱的施主和受主性质及其对阈值电压的影响第71页
 §5.2 实验研究第71-74页
 §5.3 理论模拟第74-78页
 §5.4 小结第78-79页
第六章 X射线、Y射线引起的不同界面材料剂量增强效应的测量及理论模拟第79-98页
 §6.1 X射线对Kovar封装材料的剂量增强效应的Monte-Carlo计算第79-82页
 §6.2 产生相对剂量增强的机理第82-87页
 §6.3 多层平板电离室测量几种结构界面的DEF第87-94页
  6.3.1 电离室结构、测试原理及结果第87-92页
  6.3.2 理论模拟第92-94页
 §6.4 γ射线的剂量增强效应第94-95页
 §6.5 剂量增强与损伤增强第95-97页
 §6.6 小结第97-98页
第七章 稳态X射线辐照引起的剂量增强效应研究第98-113页
 §7.1 双层膜结构的设计思路第98-100页
 §7.2 CMOS 4069稳态X射线辐照剂量增强效应第100-105页
  7.2.1 双层膜结构测量X射线的相对剂量损伤增强效应第100-102页
  7.2.2 ~(60)Coγ射线与X射线总剂量效应辐照损伤比较第102-105页
 §7.3 CMOS 4069γ射线CMOS器件的剂量损伤增强效应研究第105-106页
  7.3.1 屏蔽盒的设计第105-106页
  7.3.2 测量结果及分析第106页
 §7.4 浮栅ROM器件剂量损伤增强效应研究第106-111页
  7.4.1 浮栅ROM器件的结构及存储原理第107-108页
  7.4.2 实验方法第108页
  7.4.3 实验结果与分析第108-111页
 §7.5 小结第111-113页
第八章 瞬态X射线引起CMOS器件剂量增强效应研究第113-119页
 §8.1 瞬态辐照γ、X射线辐射损伤效应第113-114页
  8.1.1 瞬态γ、X射线辐射损伤效应之一:扰动第113页
  8.1.2 瞬态γ、X射线辐射损伤效应之二:闭锁第113-114页
 §8.2 实验装置及方法第114-116页
 §8.3 CMOS 4069X射线瞬态翻转辐照剂量损伤增强效应第116-118页
 §8.4 小结第118-119页
第九章 研究总结第119-122页
致谢第122-123页
参考文献第123-134页
博士期间的学术论文及研究成果第134-136页

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