MEMS应力测试研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-19页
·课题的研究背景和意义	第9-11页
·国内外研究现状	第11-16页
·微结构残余应力测试的研究现状	第11-14页
·微结构动态应力测试的研究现状	第14-16页
·本论文的研究工作	第16-19页
第二章 测试理论基础	第19-26页
·拉曼光谱测试理论	第19-23页
·微系统测试分析仪测试理论	第23-25页
·本章小结	第25-26页
第三章 微结构残余应力测试	第26-48页
·表面微机械标准化结构的设计与加工	第26-41页
·表面微机械技术	第26-29页
·表面微机械标准化结构的设计	第29-39页
·表面微机械标准化结构的工艺加工	第39-41页
·表面微机械标准化结构应力分析	第41-47页
·测试系统	第41-42页
·系统校准	第42-43页
·实验测试及结果分析	第43-47页
·本章小结	第47-48页
第四章 微器件动态应力测试	第48-71页
·微器件动态特性分析	第48-58页
·微器件结构参数提取	第50-53页
·微器件动态特性的仿真分析	第53-56页
·实验测试与结果分析	第56-58页
·微器件动态应力测试	第58-70页
·动态应力理论分析	第59-61页
·动态应力测试原理	第61页
·动态应力测试系统	第61-65页
·实验测试与结果分析	第65-70页
·本章小结	第70-71页
第五章 微结构的加载应力测试	第71-79页
·微结构电磁加载技术	第71-72页
·电磁驱动原理与系统设计	第72-73页
·对实验对象受力变形的理论分析	第73-75页
·实验测试与结果分析	第75-77页
·本章小结	第77-79页
结束语	第79-80页
参考文献	第80-83页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第83-85页
致 谢	第85页