硅基片上螺旋电感特性研究及其在射频芯片中的应用
| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·硅基片上电感在射频前端的应用前景 | 第11-13页 |
| ·滤波网络中的应用 | 第11-12页 |
| ·低噪声放大器中的应用 | 第12页 |
| ·压控振荡器中的应用 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-17页 |
| ·不同结构的研究 | 第13-15页 |
| ·衬底和金属材料优化的研究 | 第15-16页 |
| ·建立RLC模型的研究 | 第16页 |
| ·电感值算法研究 | 第16-17页 |
| ·电感优化设计研究 | 第17页 |
| ·本文的立题意义和研究内容 | 第17-19页 |
| ·立题意义 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 电感的理论分析基础 | 第19-29页 |
| ·电感的物理基础 | 第19-21页 |
| ·法拉第电磁感应定律和楞次定律 | 第19页 |
| ·集成片上电感器的定义 | 第19-20页 |
| ·品质因子 | 第20页 |
| ·自谐振频率 | 第20-21页 |
| ·片上电感的损耗分析 | 第21-22页 |
| ·衬底损耗分析 | 第21页 |
| ·金属层损耗分析 | 第21-22页 |
| ·片上电感的RLC模型 | 第22-29页 |
| ·单π物理模型 | 第23-26页 |
| ·改进的单π物理模型 | 第26-27页 |
| ·双π宽带物理模型 | 第27-29页 |
| 第三章 片上螺旋电感的分圈迭代算法 | 第29-39页 |
| ·GreenHouse算法 | 第29-30页 |
| ·自感的计算 | 第29-30页 |
| ·互感的计算 | 第30页 |
| ·三种闭合公式算法 | 第30-32页 |
| ·改进的Wheeler公式 | 第31页 |
| ·电流近似公式 | 第31-32页 |
| ·数值拟合公式 | 第32页 |
| ·高效的分圈迭代逼近算法 | 第32-35页 |
| ·概述 | 第32-33页 |
| ·自感分圈算法 | 第33-34页 |
| ·互感整体平均算法 | 第34-35页 |
| ·电感值和版图参数间互逆运算的实现 | 第35-36页 |
| ·电感值计算及程序 | 第35-36页 |
| ·版图参数计算及程序 | 第36页 |
| ·分圈叠代算法的精度 | 第36-39页 |
| 第四章 片上电感性能分析和优化设计 | 第39-50页 |
| ·工艺参量对电感性能的影响分析 | 第39-41页 |
| ·金属材料对性能的影响 | 第39-40页 |
| ·衬底对性能的影响 | 第40-41页 |
| ·结构对电感性能的影响分析 | 第41-46页 |
| ·不同形状电感的分析 | 第41-42页 |
| ·圈数与Q、f_(Qmax)关系 | 第42-45页 |
| ·线宽、间距与Q、f_(Qmax) | 第45-46页 |
| ·新颖的线宽间距渐变的电感 | 第46-50页 |
| ·四种线宽间距变化的结构分析 | 第47-48页 |
| ·圈数不同的优化分析 | 第48-50页 |
| 第五章 硅基片上电感的制备和测试分析 | 第50-61页 |
| ·片上电感的制备 | 第50-52页 |
| ·工艺流程 | 第50-51页 |
| ·工艺探讨 | 第51页 |
| ·实验所得的样品图片 | 第51-52页 |
| ·高频在片测试系统及原理 | 第52-54页 |
| ·高频在片测试原理 | 第52-53页 |
| ·在片测试系统 | 第53-54页 |
| ·测试数据处理方法 | 第54-56页 |
| ·S参数的去嵌入 | 第55-56页 |
| ·测试参数提取 | 第56页 |
| ·测试结果与分析 | 第56-61页 |
| ·不同形状的电感 | 第56-57页 |
| ·圈数不同的电感 | 第57-59页 |
| ·线宽间距渐变的优化电感 | 第59-61页 |
| 第六章 片上电感在LC滤波器的应用 | 第61-67页 |
| ·LC滤波器的设计 | 第61-64页 |
| ·MIM电容设计 | 第61页 |
| ·LC滤波器设计与仿真 | 第61-64页 |
| ·LC滤波器的制备 | 第64-65页 |
| ·测试结果分析 | 第65-67页 |
| ·LC低通滤波器的测试结果 | 第65-67页 |
| 结论及展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
