| 第一章 绪论 | 第1-10页 |
| ·常用的薄层电阻测试方法及国内外研究概况 | 第7-8页 |
| ·图象处理与分析简介 | 第8-9页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第9-10页 |
| 第二章 四探针测试技术测量薄层电阻的原理 | 第10-25页 |
| ·微区薄层电阻测量的重要性及其测量方法 | 第10-14页 |
| ·微区薄层电阻测量的重要性 | 第10-12页 |
| ·四探针测试技术介绍 | 第12-14页 |
| ·直线四探针法测量薄层电阻的原理 | 第14-19页 |
| ·直线四探针法的基本原理 | 第14-15页 |
| ·直线四探针法的测准条件分析 | 第15-16页 |
| ·测量电流的选择 | 第16-17页 |
| ·直线四探针技术的边缘和厚度修正 | 第17-18页 |
| ·直线四探针法的测量区域的局限 | 第18-19页 |
| ·改进的范德堡法测量薄层电阻的原理 | 第19-22页 |
| ·改进范德堡法的基本原理 | 第19-20页 |
| ·改进范德堡法测试条件分析 | 第20-21页 |
| ·改进范德堡法的边缘修正 | 第21-22页 |
| ·斜置式方形Rymaszewski四探针法的测试原理 | 第22-24页 |
| ·斜置式方形Rymaszewski四探针法基本原理 | 第22-23页 |
| ·斜置式方形Rymaszewski四探针法的厚度修正 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于图像分析与视觉系统的探针图像处理与分析 | 第25-36页 |
| ·探针图像的采集 | 第25-26页 |
| ·探针图像的预处理 | 第26-31页 |
| ·探针图像的灰度级修正 | 第27-28页 |
| ·探针图像的平滑 | 第28-31页 |
| ·探针图像的二值化及处理 | 第31-32页 |
| ·探针图像的边缘检测 | 第32-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 薄层电阻测量系统及其实现 | 第36-46页 |
| ·系统硬件设计 | 第36-39页 |
| ·系统的软件设计和范德堡函数的高精度反演 | 第39-44页 |
| ·范德堡函数的高精度反演问题的提出 | 第39-40页 |
| ·范德堡函数的局域反演和全局反演 | 第40-43页 |
| ·范德堡函数非线性拟合多项式的误差分析 | 第43-44页 |
| ·薄层电阻测量结果分析 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第50页 |
