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基于静电感应晶闸管的ESD保护器件特性研究

中文摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-20页
   ·研究背景第7-10页
     ·ESD损伤和ESD潜在损伤第8-9页
     ·ESD保护器件的发展状况第9-10页
   ·ESD测试模型第10-20页
     ·人体放电模型(Human-Body Model—HBM)第10-11页
     ·机器放电模型(Machine Model—MM)第11-12页
     ·器件充电模型(Charged-Device Model—CDM)第12-13页
     ·电场感应模型(Field-Induced Model—FIM)第13-14页
     ·传输线脉冲模型(Transmission Line Pulse—TLP)第14-20页
第二章 常见的ESD保护器件第20-34页
   ·二极管第20-24页
     ·标准CMOS工艺下的二极管第22-23页
     ·齐纳二极管第23-24页
   ·金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)第24-26页
   ·可控硅整流器(Silicon Controlled Rectifier—SCR)第26-29页
     ·中电压触发SCR(Medium Voltage Triggered SCR—MVTSCR)第27-28页
     ·低电压触发SCR(Low Voltage Triggered SCR—LVTSCR)第28-29页
   ·栅耦合NMOS(Gate Coupled NMOS—GCNMOS)第29-34页
第三章 SITh的导通态与阻断态第34-42页
   ·SIT的结构第34页
   ·SIT的工作原理第34-35页
   ·SIT的I-V特性分析第35-37页
   ·SITh的器件结构模型和偏置状态第37-38页
   ·SITh负阻转折特性的基本描述第38-42页
第四章 SITh的输运模型及数值分析第42-50页
   ·电磁方程及其简化第42-43页
   ·漂移扩散模型方程第43-46页
   ·涉及温度变化的漂移扩散模型第46-47页
   ·漂移扩散模型的求解第47-49页
   ·SITh的I-V特性:数值结果和实验结果的比较第49-50页
第五章 SITh用作ESD保护的特性测试与分析第50-61页
   ·SITh器件的模拟与分析第50-52页
   ·SITh器件的TLP测试结果分析第52-56页
   ·关于SITh保护器件一次击穿电压的调整第56-58页
   ·关于SITh保护器件响应速度的讨论第58-61页
第六章 结论与展望第61-63页
   ·主要结论第61页
   ·工作展望第61-63页
参考文献第63-66页
在学期间的研究成果第66-67页
致谢第67页

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