| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·ZnO 结构及其基本性质 | 第10-12页 |
| ·ZnO 的电学特性 | 第12-13页 |
| ·ZnO 薄膜的光学特性 | 第13-14页 |
| ·ZnO 的缺陷与掺杂 | 第14-18页 |
| ·ZnO 中的本征缺陷 | 第14-15页 |
| ·ZnO 中非故意掺杂的氢 | 第15-17页 |
| ·ZnO 掺杂研究 | 第17-18页 |
| ·ZnO 薄膜的应用研究进展 | 第18-20页 |
| ·压电器件 | 第18-19页 |
| ·太阳能电池 | 第19页 |
| ·紫外探测器 | 第19页 |
| ·集成器件 | 第19-20页 |
| ·本文的选题和主要工作 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第2 章实验方法及测试仪器简介 | 第21-31页 |
| ·溶胶-凝胶法简介 | 第21-23页 |
| ·雾化汽相沉积法简介 | 第23-26页 |
| ·实验测试方法 | 第26-30页 |
| ·结构分析 | 第26-27页 |
| ·阴极射线发光谱 | 第27-28页 |
| ·铁电分析仪 | 第28-29页 |
| ·脉冲调制高能诱导等离子炉 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3 章雾化气相沉积法制备ZnO 薄膜 | 第31-38页 |
| ·样品制备 | 第31-32页 |
| ·衬底温度对样品表面形貌的影响 | 第32-35页 |
| ·不同退火气氛对样品阴极射线发光的影响 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4 章氢化处理对ZnO 薄膜发光效率的影响 | 第38-47页 |
| ·实验 | 第38页 |
| ·氢化距离对样品表面形貌的影响 | 第38-41页 |
| ·氢化处理对样品CL 的影响 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5 章 Li 掺杂浓度对Zn_(1-x)Li_xO 薄膜光学、铁电性能的影响 | 第47-56页 |
| ·样品实验制备 | 第47-48页 |
| ·实验结果与分析 | 第48-54页 |
| ·掺杂浓度对样品晶体结构的影响 | 第48-50页 |
| ·不同掺杂浓度样品的室温CL 光谱 | 第50页 |
| ·掺杂浓度样品的低温CL 性能的影响 | 第50-53页 |
| ·不同掺杂浓度对铁电性能的影响 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-56页 |
| 第6 章结论与展望 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录 攻读硕士学位期间完成的论文情况 | 第64页 |