| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-34页 |
| 1.1 聚焦离子束/电子束技术简介 | 第11-16页 |
| 1.2 聚焦离子束/电子束加工三维微纳米结构 | 第16-31页 |
| 1.2.1 聚焦离子束/电子束辅助沉积 | 第17-23页 |
| 1.2.2 聚焦离子束/电子束刻蚀 | 第23-27页 |
| 1.2.3 聚焦离子束辐照 | 第27-31页 |
| 1.3 论文的研究目的与主要内容 | 第31-34页 |
| 第2章 聚焦电子束沉积Pt纳米线的电致振动行为 | 第34-53页 |
| 2.1 引言 | 第34-35页 |
| 2.2 聚焦电子束制备自支撑的Pt纳米线 | 第35-38页 |
| 2.3 Pt纳米线电致振动分析 | 第38-46页 |
| 2.3.1 Pt纳米线电致振动现象 | 第38-40页 |
| 2.3.2 电致振动受力的物理模型 | 第40-42页 |
| 2.3.3 电致振动机理分析 | 第42-46页 |
| 2.4 Pt纳米线密度的确定 | 第46-49页 |
| 2.5 Pt纳米线的杨氏模量与直径的关系 | 第49-50页 |
| 2.6 额外质量探测器 | 第50-51页 |
| 2.7 本章小结 | 第51-53页 |
| 第3章 金刚石纳米锥的构筑与电学特性 | 第53-70页 |
| 3.1 引言 | 第53-56页 |
| 3.1.1 聚焦离子束刻蚀技术在金刚石上的应用 | 第53-54页 |
| 3.1.2 sp2碳/金刚石混合材料体系的场发射研究现状 | 第54-56页 |
| 3.2 纳米金刚石薄膜的生长 | 第56-57页 |
| 3.3 纳米金刚石锥的制备与表征 | 第57-61页 |
| 3.3.1 纳米金刚石锥的制备 | 第57-60页 |
| 3.3.2 纳米金刚石锥的拉曼表征 | 第60-61页 |
| 3.4 场发射测量系统 | 第61-63页 |
| 3.5 纳米金刚石锥的场发射特性 | 第63-68页 |
| 3.5.1 纳米金刚石锥在暗态下的场发射性质 | 第63-66页 |
| 3.5.2 纳米金刚石锥紫外光照下的场发射特性 | 第66-68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 第4章 三维环栅金刚石场效应晶体管的加工与电学特性 | 第70-92页 |
| 4.1 引言 | 第70-72页 |
| 4.1.1 聚焦离子束辐照技术在三维器件加工中的应用 | 第70页 |
| 4.1.2 三维金刚石器件的研究现状 | 第70-72页 |
| 4.2 实验流程与方案 | 第72-74页 |
| 4.3 三维金刚石环栅器件加工方案探索 | 第74-79页 |
| 4.3.1 三维金刚石结构的刻蚀 | 第74页 |
| 4.3.2 不依赖平面工艺的环栅加工 | 第74-76页 |
| 4.3.3 聚焦离子束辐照自支撑纳米线的应变 | 第76-79页 |
| 4.4 平面型单晶金刚石晶体管的器件特性 | 第79-85页 |
| 4.5 三维环栅金刚石器件的制备与电学测量 | 第85-90页 |
| 4.6 本章小结 | 第90-92页 |
| 第5章 总结 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-111页 |
| 个人简历及发表文章目录 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
