基于侧墙工艺的纳机电结构并行加工技术研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-21页 |
| ·引言 | 第7-10页 |
| ·现有纳米加工技术 | 第10-14页 |
| ·采用侧墙工艺的纳米加工技术 | 第14-16页 |
| ·本论文工作简介 | 第16-18页 |
| 本章参考文献 | 第18-21页 |
| 第二章 纳机电梁加工技术研究及特性表征 | 第21-38页 |
| ·SiO_2 侧墙掩模 | 第22-24页 |
| ·纳机电梁释放工艺研究 | 第24-26页 |
| ·纳机电梁加工结果 | 第26-28页 |
| ·多晶硅薄膜应力研究 | 第28-30页 |
| ·FIB 后端加工 | 第30-32页 |
| ·特性表征 | 第32-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 本章参考文献 | 第37-38页 |
| 第三章 纳米针尖加工技术研究及特性表征 | 第38-52页 |
| ·交叉侧墙制作纳米针尖阵列 | 第38-42页 |
| ·交叠侧墙制作纳米网格 | 第42-43页 |
| ·交叠侧墙制作纳米针尖阵列 | 第43-46页 |
| ·特性表征 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 本章参考文献 | 第50-52页 |
| 第四章 纳机电结构应用探索 | 第52-69页 |
| ·纳机电谐振器系统 | 第52-57页 |
| ·纳机电梁与FinFET 工艺集成 | 第57-60页 |
| ·纳米管道制备 | 第60-63页 |
| ·纳米压印 | 第63-64页 |
| ·纳米针尖生物应用初探 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 本章参考文献 | 第67-69页 |
| 第五章 总结 | 第69-73页 |
| ·研究内容 | 第69-71页 |
| ·研究意义 | 第71-73页 |
| 硕士阶段发表的论文及申请专利列表 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
