| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 前言 | 第8-15页 |
| ·研究背景 | 第8-13页 |
| ·集成电路的发展概述 | 第8-10页 |
| ·金属互连系统及其重要性概述 | 第10-13页 |
| ·本文的研究工作及重要性 | 第13-15页 |
| ·金属互连系统热效应研究的必要性 | 第13-14页 |
| ·本文研究的内容 | 第14-15页 |
| 第2章 集成电路中互连系统的内部结构 | 第15-25页 |
| ·集成电路中的互连技术 | 第15-16页 |
| ·典型集成电路中互连系统的建立 | 第16-24页 |
| ·本章小节 | 第24-25页 |
| 第3章 集成电路中互连系统温度分布的基本模型和理论 | 第25-34页 |
| ·金属互连系统热效应分析基本理论 | 第25-27页 |
| ·能量守恒定律 | 第25页 |
| ·热传导方程 | 第25-27页 |
| ·金属互连系统中热效应分析的基本模型 | 第27-33页 |
| ·本章小节 | 第33-34页 |
| 第4章 互连系统参数对金属连线和通孔温度分布的影响 | 第34-47页 |
| ·通孔直径对金属互连系统温度分布的影响 | 第34-38页 |
| ·通孔直径对金属连线温度分布的影响 | 第34-36页 |
| ·通孔直径对通孔内部温度分布的影响 | 第36-38页 |
| ·通孔高度对金属互连系统温度分布的影响 | 第38-42页 |
| ·通孔高度对金属连线温度分布的影响 | 第38-40页 |
| ·通孔高度对通孔内部温度分布的影响 | 第40-42页 |
| ·金属连线线宽对互连系统温度分布的影响 | 第42-43页 |
| ·介电材料对互连系统温度分布的影响 | 第43-45页 |
| ·本章小节 | 第45-47页 |
| 第5章 ULSI中金属互连系统上的热点分析 | 第47-61页 |
| ·通孔修正因子η值的计算 | 第48-49页 |
| ·通孔直径对热点区域的影响 | 第49-53页 |
| ·不同金属连线长度情况 | 第49-51页 |
| ·不同通孔高度情况 | 第51-53页 |
| ·金属连线线宽对热点区域的影响 | 第53-56页 |
| ·不同金属连线长度情况 | 第53-55页 |
| ·不同通孔高度情况 | 第55-56页 |
| ·金属连线线高对热点区域的影响 | 第56-58页 |
| ·热点的准确位置和温度 | 第58-60页 |
| ·本章小节 | 第60-61页 |
| 第6章 结论和展望 | 第61-63页 |
| 攻读学位论文期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |