偏离标准条件的OPC模型以及OPC相关的验证方法
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-20页 |
| ·光学邻近效应修正(OPC) | 第7-9页 |
| ·影像失真(image distortion) | 第9-12页 |
| ·OPC修正方法 | 第12-14页 |
| ·线宽变化最小 | 第12页 |
| ·减小线端缩短 | 第12-13页 |
| ·方角修正 | 第13-14页 |
| ·OPC修正的执行方案 | 第14-16页 |
| ·基于规则的修正 | 第14-15页 |
| ·基于模型的修正 | 第15页 |
| ·混合型修正 | 第15-16页 |
| ·OPC的发展演变 | 第16-19页 |
| ·论文的组织结构 | 第19-20页 |
| 第二章 偏离标准条件的MOPC | 第20-38页 |
| ·OTMOPC模型的理论基础 | 第20-30页 |
| ·矢量薄膜模型 | 第20-25页 |
| ·OTMOPC模型的由来 | 第25-27页 |
| ·OTMOPC模型中关键参数的定义 | 第27-30页 |
| ·OTMOPC模型的操作方法 | 第30-33页 |
| ·实验结果 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-38页 |
| 第三章 OPC相关的验证方法 | 第38-55页 |
| ·光刻规则检查 | 第39-51页 |
| ·设计规则优化 | 第40-45页 |
| ·利于OPC修正的优化 | 第45-48页 |
| ·基于制程窗口的优化 | 第48-51页 |
| ·修正后检查 | 第51-53页 |
| ·光罩规则检查 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 OPC准确性的优化 | 第55-74页 |
| ·优化OPC模型的准确性 | 第55-62页 |
| ·模型试验数据的测量和分析 | 第56-57页 |
| ·模型模板 | 第57-59页 |
| ·模型校正 | 第59-62页 |
| ·修正程式的优化 | 第62-64页 |
| ·从光罩角度提高OPC的准确性 | 第64-73页 |
| ·光罩质量控制 | 第66-71页 |
| ·测试图形的设计 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 结论和展望 | 第74-76页 |
| ·论文总结 | 第74-75页 |
| ·后续研究的思路 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-84页 |
| 攻读博士期间发表的论文目录 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 个人简历 | 第86-87页 |
| 学位论文独创性声明 | 第87页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第87页 |
