| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-27页 |
| ·研究背景 | 第9-16页 |
| ·MEMS技术 | 第9-11页 |
| ·CAD技术 | 第11-13页 |
| ·MEMS CAD技术与系统 | 第13-16页 |
| ·计算机辅助MEMS器件设计 | 第16-23页 |
| ·MEMS器件的几何建模 | 第16-19页 |
| ·工艺模拟 | 第19-20页 |
| ·掩模和工序综合 | 第20-22页 |
| ·器件模拟 | 第22页 |
| ·其他相关工作 | 第22-23页 |
| ·计算机辅助MEMS器件设计研究存在的问题 | 第23-24页 |
| ·本文的研究目标与研究内容 | 第24-27页 |
| 第2章 基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价模式及其框架 | 第27-39页 |
| ·计算机辅助MEMS器件设计功能需求分析 | 第27-28页 |
| ·MEMS器件设计模式 | 第28-34页 |
| ·传统的MEMS设计方法及其流程 | 第29-31页 |
| ·结构化MEMS器件设计方法 | 第31-34页 |
| ·基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价的模式及其框架 | 第34-37页 |
| ·基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价模式 | 第34-35页 |
| ·基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价框架 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 基于实体模型的表面微加工MEMS器件工艺层模型生成 | 第39-71页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·基本概念与方法概述 | 第40-42页 |
| ·基本概念 | 第40-41页 |
| ·方法概述 | 第41-42页 |
| ·工艺特征的表示与分类 | 第42-45页 |
| ·工艺特征识别 | 第45-50页 |
| ·预处理 | 第45-47页 |
| ·工艺特征自动识别算法 | 第47-50页 |
| ·基于工艺特征的表面微加工MEMS工艺层建模 | 第50-65页 |
| ·变异扫成操作 | 第52-53页 |
| ·工艺层建模的相关概念 | 第53-56页 |
| ·工艺层建模算法 | 第56-65页 |
| ·工艺层模型修正 | 第65-70页 |
| ·工艺层模型修正的必要性 | 第65-66页 |
| ·工艺层模型修正算法 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 表面微加工MEMS器件工艺层模型可制造性评价 | 第71-87页 |
| ·引言 | 第71-72页 |
| ·方法概述 | 第72-73页 |
| ·表面微加工MEMS器件工艺层模型可制造性评价算法 | 第73-83页 |
| ·可释放性评价 | 第73-74页 |
| ·工步可制造性评价 | 第74-76页 |
| ·沉积可制造性评价 | 第76-77页 |
| ·上下可结合性评价 | 第77-78页 |
| ·腐蚀可制造性评价 | 第78-83页 |
| ·基于可制造性评价结果的修改建议生成 | 第83-86页 |
| ·基于可制造性评价结果的修改建议生成方法概述 | 第83-84页 |
| ·基于干涉实体的修改建议生成算法 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第5章 基于工艺层模型的表面微加工MEMS器件掩模综合与验证 | 第87-99页 |
| ·引言 | 第87-88页 |
| ·相关概念与方法概述 | 第88-89页 |
| ·基本概念 | 第88-89页 |
| ·方法概述 | 第89页 |
| ·初始掩模和工序生成 | 第89-91页 |
| ·同材料多层腐蚀的掩模生成 | 第91-94页 |
| ·掩模和工序验证 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-99页 |
| 第6章 基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价原型系统 | 第99-115页 |
| ·原型系统结构与功能 | 第99-102页 |
| ·原型系统结构 | 第99-100页 |
| ·原型系统界面设计 | 第100-101页 |
| ·原型系统功能模块 | 第101-102页 |
| ·实例测试 | 第102-113页 |
| ·微马达 | 第102-108页 |
| ·微驱动器 | 第108-111页 |
| ·微铰链 | 第111-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 第7章 总结与展望 | 第115-117页 |
| ·总结 | 第115-116页 |
| ·展望 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-125页 |
| 攻读博士学位期间完成的学术论文 | 第125-127页 |
| 致谢 | 第127页 |
