晶圆表面形貌的微分干涉系统设计及实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题背景和研究目的 | 第9-10页 |
| ·微观表面形貌的光学测量方法概述 | 第10-13页 |
| ·几何光学原理测量法 | 第11页 |
| ·物理光学原理测量法 | 第11-13页 |
| ·本课题的主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 微分相移干涉显微测量原理 | 第14-21页 |
| ·线偏振光微分原理 | 第14-16页 |
| ·双折射晶体微分原理 | 第14-15页 |
| ·Wollaston 棱镜微分原理 | 第15-16页 |
| ·偏振光微分干涉显微原理 | 第16-17页 |
| ·双折射晶体偏光微分干涉显微原理 | 第16页 |
| ·Wollaston 棱镜微分干涉显微原理 | 第16-17页 |
| ·移相干涉原理 | 第17-19页 |
| ·移相方法 | 第19-20页 |
| ·影响测量误差的主要因素 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 微分相移干涉显微测量系统设计 | 第21-36页 |
| ·微分干涉测量系统方案设计 | 第21页 |
| ·微分干涉光路结构设计 | 第21-22页 |
| ·单轴平晶结构参数设计 | 第22-28页 |
| ·横向剪切量设计 | 第22-27页 |
| ·o 光和e 光的光强分布计算 | 第27-28页 |
| ·移相结构设计 | 第28-30页 |
| ·照明系统 | 第30-33页 |
| ·其他光学参数设计 | 第33-34页 |
| ·图像传感器CCD 的选择 | 第33页 |
| ·系统放大倍率确定 | 第33页 |
| ·显微系统数值孔径的确定 | 第33-34页 |
| ·物镜视场的确定 | 第34页 |
| ·成像系统的景深 | 第34页 |
| ·系统组装总体结构 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 干涉图像处理算法 | 第36-43页 |
| ·图像预处理 | 第36-37页 |
| ·相位提取算法 | 第37-41页 |
| ·表面形貌重构算法 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 实验和测量精度分析 | 第43-55页 |
| ·实验系统光路调整 | 第43-45页 |
| ·波片光轴的确定方法 | 第43-44页 |
| ·光学元件位置调整 | 第44页 |
| ·元件偏振方向调整 | 第44-45页 |
| ·图像采集处理 | 第45-50页 |
| ·图像预处理 | 第45-47页 |
| ·相位提取 | 第47-48页 |
| ·三维表面形貌重构 | 第48-50页 |
| ·系统精确度 | 第50-52页 |
| ·测量误差分析 | 第52-54页 |
| ·四分之一波片的相位延迟误差 | 第52-53页 |
| ·四分之一波片的方位角误差 | 第53-54页 |
| ·单轴平晶误差 | 第54页 |
| ·检偏器相移误差 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 总结与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
