压阻式加速度传感器的设计与仿真
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 MEMS简介 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 MEMS宏模型 | 第12-13页 |
| 1.4 MEMS加速度传感器 | 第13-16页 |
| 1.5 论文的主要研究意义和主要工作 | 第16-17页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第16页 |
| 1.5.2 主要工作和创新 | 第16-17页 |
| 第二章 压阻式加速度传感器的工作原理 | 第17-34页 |
| 2.1 压阻效应 | 第18-23页 |
| 2.1.1 压阻系数 | 第19-22页 |
| 2.1.2 影响压阻系数的因素 | 第22-23页 |
| 2.2 传感原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 压阻式加速度传感器的力学模型 | 第23-24页 |
| 2.2.2 悬臂梁式压阻式加速度传感器工作原理 | 第24-26页 |
| 2.3 测量电路 | 第26-29页 |
| 2.3.1 电桥电路 | 第26-28页 |
| 2.3.2 处理电路 | 第28-29页 |
| 2.4 加工工艺 | 第29-32页 |
| 2.5 仿真工具 | 第32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 压阻式加速度传感器的设计和仿真 | 第34-56页 |
| 3.1 压阻式加速度传感器的设计指标 | 第34页 |
| 3.2 压阻式加速度传感器的设计 | 第34-42页 |
| 3.2.1 压阻式加速度传感器的结构设计 | 第35-38页 |
| 3.2.2 压阻式加速度传感器的版图设计 | 第38-40页 |
| 3.2.3 压阻式加速度传感器的工艺流程设计 | 第40-42页 |
| 3.3 压阻式加速度传感器的仿真 | 第42-48页 |
| 3.3.1 材料参数选择 | 第42-43页 |
| 3.3.2 机电耦合分析方法 | 第43-44页 |
| 3.3.3 悬臂梁参数分析 | 第44-48页 |
| 3.4 压阻式加速度传感器的优化设计 | 第48-49页 |
| 3.5 量程分析和极限冲击测试 | 第49-50页 |
| 3.6 模态分析 | 第50-52页 |
| 3.7 动态响应分析 | 第52-54页 |
| 3.7.1 时域性能分析 | 第52-53页 |
| 3.7.2 频域性能分析 | 第53-54页 |
| 3.8 最终设计性能参数 | 第54-55页 |
| 3.9 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 压阻式加速度传感器的宏模型提取技术研究 | 第56-62页 |
| 4.1 宏模型参数提取 | 第56-58页 |
| 4.2 Verilog-A语言描述 | 第58-59页 |
| 4.3 宏模型封装 | 第59-60页 |
| 4.4 系统级仿真 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
