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纳米集成电路多种老化效应的协同缓解技术研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9-10页
第一章 绪论第15-25页
    1.1 研究背景与意义第15-17页
    1.2 集成电路老化效应第17-20页
        1.2.1 BTI效应第17-18页
        1.2.2 HCI效应第18-19页
        1.2.3 TDDB效应第19-20页
        1.2.4 EM效应第20页
    1.3 国内外电路老化研究现状第20-23页
        1.3.1 对一种老化效应的建模和优化第21-23页
        1.3.2 对多种老化效应的联合建模和协同优化第23页
    1.4 论文的主要工作和内容安排第23-25页
第二章 电路老化效应模型与MOS器件的耦合效应研究第25-37页
    2.1 老化效应的模型研究第25-29页
        2.1.1 BTI效应模型第25-28页
        2.1.2 HCI效应模型第28-29页
        2.1.3 TDDB效应模型第29页
    2.2 MOS器件的耦合效应第29-32页
        2.2.1 高温条件下NBTI增强的HCI效应第29-31页
        2.2.2 衬底热载流子耦合的TDDB效应第31-32页
    2.3 Hspice仿真工具第32-35页
        2.3.1 HSPICE仿真的基本框架第32-33页
        2.3.2 MOSRA模型介绍第33-35页
    2.4 静态时序分析软件第35-36页
    2.5 本章小结第36-37页
第三章 协同缓解PBTI和HCI老化效应的研究第37-47页
    3.1 研究动机第37页
    3.2 考虑晶体管堆叠效应的PBTI和HCI效应老化模型第37-42页
        3.2.1 PBTI和HCI效应老化模型第37-38页
        3.2.2 晶体管堆叠对老化效应的影响第38-39页
        3.2.3 PBTI和HCI效应的模型改进第39-42页
    3.3 输入信号重排序抗老化方案第42-44页
        3.3.1 输入信号重排序减小PBTI效应第42页
        3.3.2 输入信号重排序减小HCI效应第42-43页
        3.3.3 协同减小PBTI和HCI效应引起的老化第43-44页
    3.4 仿真结果与分析第44-46页
        3.4.1 模型的准确性验证第44-45页
        3.4.2 输入信号重排序抗老化结果第45-46页
    3.5 本章小结第46-47页
第四章 NBTI和PBTI老化效应的联合优化研究第47-55页
    4.1 研究动机第47-48页
    4.2 BTI效应的模型分析及对单元门的影响第48-51页
        4.2.1 BTI模型第48页
        4.2.2 BTI效应对逻辑单元门的影响第48-49页
        4.2.3 BTI效应与晶体管堆叠效应的关系第49-51页
    4.3 利用晶体管重排技术对NBTI和PBTI效应的联合优化第51-52页
    4.4 仿真结果与分析第52-54页
    4.5 本章小结第54-55页
第五章 结论与展望第55-57页
    5.1 研究工作总结第55页
    5.2 未来工作展望第55-57页
参考文献第57-62页
攻读硕士期间的学术活动及成果情况第62页

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